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  • 2 篇 工学
    • 2 篇 化学工程与技术
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 化学

主题

  • 2 篇 机械化学反应法
  • 1 篇 钛酸铈
  • 1 篇 光学玻璃抛光
  • 1 篇 化学机械抛光
  • 1 篇 抛光浆料
  • 1 篇 掺钛氧化铈
  • 1 篇 亚微米氧化铈
  • 1 篇 水热合成

机构

  • 2 篇 南昌大学
  • 1 篇 南昌航空大学

作者

  • 1 篇 李永绣
  • 1 篇 周雪珍
  • 1 篇 傅毛生
  • 1 篇 李艳花
  • 1 篇 常民民

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=机械化学反应法"
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Ce_(0.8)Ti_(0.2)O_2复合氧化物的制备及其光学玻璃的抛光性能
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硅酸盐学报 2009年 第7期37卷 1212-1217页
作者： 傅毛生 李永绣 周雪珍 李艳花 南昌大学稀土与微纳功能材料研究中心 南昌330047 南昌航空大学环境与化学工程学院 南昌330063
采用机械化学反应法制备Ce0.8Ti0.2O2复合氧化物,运用差热–热重分析仪、X射线衍射仪、场发射扫描式电子显微镜、zeta电位仪、激光粒度仪等手段对其物相、外观形貌、表面电位、粒度大小等性质进行了表征,通过测定抛光速率和观察表面的... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
亚微米氧化铈的合成及抛光性能研究
亚微米氧化铈的合成及抛光性能研究
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引用
作者： 常民民 南昌大学
学位级别：硕士
化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)是高精密光学器件和超大规模集成电路制造技术中最为有效的平坦化技术之一。随着高精尖技术的发展,对工件表面精度的要求越来越来高,对抛光材料颗粒大小和形貌也提出了更高的要求。本... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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