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主题

  • 1 篇 高精度
  • 1 篇 表面控形制造
  • 1 篇 本征表面
  • 1 篇 熔石英元件
  • 1 篇 纳米精度
  • 1 篇 低缺陷

机构

  • 1 篇 国防科技大学
  • 1 篇 湖南省超精密加工...
  • 1 篇 空军工程大学

作者

  • 1 篇 薛帅
  • 1 篇 宋辞
  • 1 篇 舒勇
  • 1 篇 铁贵鹏
  • 1 篇 石峰
  • 1 篇 田野
  • 1 篇 肖航

语言

  • 1 篇 中文
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紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展
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强激光与粒子束 2020年 第3期32卷 11-17页
作者： 石峰 舒勇 宋辞 田野 铁贵鹏 薛帅 肖航 国防科技大学智能科学学院 长沙410073 国防科技大学装备综合保障国防科技重点实验室 长沙410073 湖南省超精密加工技术重点实验室 长沙410073 空军工程大学航空机务士官学校 河南信阳464000
传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率。针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可控柔体加工技术提升... 详细信息
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