咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 会议

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 有蜡贴片
  • 1 篇 双面抛光片
  • 1 篇 单晶硅

机构

  • 1 篇 天津中环领先材料...

作者

  • 1 篇 由佰玲
  • 1 篇 孙晨光
  • 1 篇 李科技
  • 1 篇 武卫
  • 1 篇 李翔

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=有蜡贴片"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
单抛机双面硅抛光片有蜡贴片工艺研究
单抛机双面硅抛光片有蜡贴片工艺研究
收藏
分享
引用
第二十五届中国（天津）2011’IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议
作者： 李科技 由佰玲 武卫 孙晨光 李翔 天津中环领先材料技术有限公司
随着集成电路工艺技术的高速发展,双面硅抛光片得到了越来越广泛的应用。有蜡贴片是双面硅抛光片加工过程中的关键工序。本文利用单面抛光机通过对有蜡贴片工艺主要参数供蜡量、涂蜡转速、烘烤温度、载体温度、硅片刷洗设置进行研究,开... 详细信息
来源： cnki会议 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件