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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 泄漏时间常数
  • 1 篇 最小理论漏率
  • 1 篇 超小尺寸器件
  • 1 篇 严酷等级
  • 1 篇 等效标准漏率

机构

  • 1 篇 无锡中微高科电子...
  • 1 篇 中国电子科技集团...

作者

  • 1 篇 李阳
  • 1 篇 肖汉武

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=最小理论漏率"
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关于超小尺寸器件的等效标准漏率判据的讨论
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引用
真空与低温 2024年
作者： 肖汉武 李阳 中国电子科技集团公司第五十八研究所 无锡中微高科电子有限公司
对于内空腔容积小于0.01cm3的超小尺寸密封器件，在器件贮存期内环境气氛对其内部水汽含量的影响尤为明显，在较短的储存期内水汽含量有可能超过2%，并趋于饱和，无法满足0.5%的规范要求。在进行氦气背压法检漏时，还存在器件候检阶段... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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