检索结果-南通市图书馆

人工晶体学报 2024年

作者：高嘉庆屈小勇吴翔郭永刚王永冈汪梁谭新杨鑫泽青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司

为深入研究p型TOPCon结构的制备工艺和钝化性能，本文通过实验研究了隧穿氧化层生长过程中氧气流量、氧化温度和氧化时间对氧化层质量的影响，以及在不同硼扩散温度下p-poly的钝化性能和方块电阻。实验结果表明，氧气流量达到15 slm（... 详细信息

为深入研究p型TOPCon结构的制备工艺和钝化性能，本文通过实验研究了隧穿氧化层生长过程中氧气流量、氧化温度和氧化时间对氧化层质量的影响，以及在不同硼扩散温度下p-poly的钝化性能和方块电阻。实验结果表明，氧气流量达到15 slm（标准升每分）以上，p-poly的隐开路电压平均值达到730 mV，暗饱和电流密度低至3.5 fA/cm2。氧化温度和时间分别达到620 ℃和30 min时，p-poly的隐开路电压可提升至735 mV，随着氧化温度的提高或者氧化时间的延长，p-poly的隐开路电压趋于稳定。硼扩散温度为960 ℃时，p-poly的方块电阻保持在132 Ω/□，硅基体中的掺杂结深为0.25 μm，获得了良好的钝化性能。本文所确定的工艺参数可制备出具有良好钝化性能的p-poly结构，对未来p型TOPCon结构在高效晶硅电池上的产业化应用提供了一定的数据支撑。

关键词： p型TOPCon结构低压化学气相沉积钝化质量隐开路电压暗饱和电流密度太阳能电池

来源：

同方期刊数据库评论

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：