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有关半导体制造中钯的运用:用于铜上的无电镀镍沉积物的钯催化剂

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中国集成电路 2013年第8期22卷 58-62页

作者： Wan Tatt Wai 英飞凌科技

1 引言钯（Pd）是一种稀有的带光泽的银白金属，是铂族金属（PGM）中的一种元素，同时也是一种贵重金属，作为有害气体的催化转化器已得到广泛运用，例如将废气系统中的碳氢化合物快速转化成水和二氧化碳。钯还具有十分明显的催化特性... 详细信息

1 引言钯（Pd）是一种稀有的带光泽的银白金属，是铂族金属（PGM）中的一种元素，同时也是一种贵重金属，作为有害气体的催化转化器已得到广泛运用，例如将废气系统中的碳氢化合物快速转化成水和二氧化碳。钯还具有十分明显的催化特性，被运用于化学湿式转化中的各种应用中。在对钯进行了越来越多的研究后，科学家发现。

关键词：钯催化剂半导体制造无电镀镍沉积物催化转化器铂族金属碳氢化合物贵重金属

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无电镀镍剂

日用电器 1973年第4期 103-103页

无电镀镍剂Niposit 65现在已由Shipley化学品公司引进英国市场,它是专门用来镀铝制和钢制零件的。

关键词：无电镀镍钢制零件沉积层

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利用无电镀金实现微结构金属化的技术

纳米技术与精密工程 2007年第4期5卷 347-350页

作者：杨波李志宏北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室北京100871

无电镀是金属化的一种重要手段,具有成本低、保形性好、简单易操作等特点.在以前报道的MEMS结构无电镀金属化过程中,金属和硅结构会全部被金属化,难以形成复杂结构的局部选择性金属化.为此,采用一种商用无氰配方无电镀金溶液,通过两步... 详细信息

无电镀是金属化的一种重要手段,具有成本低、保形性好、简单易操作等特点.在以前报道的MEMS结构无电镀金属化过程中,金属和硅结构会全部被金属化,难以形成复杂结构的局部选择性金属化.为此,采用一种商用无氰配方无电镀金溶液,通过两步无电镀方法,控制实验样品的激活时间、水浴温度等条件和两步镀覆的时间,使用无电镀镍作为中间层,实现了在特定材料层上的无电镀金;其针孔密度低,表面平整度较好,具有高的选择性,为高性能器件的研制打下了基础.

关键词：无电镀金选择性金属化无氰镀液无电镀镍激活液

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新的无电镀镍法

四川化工 1997年第3期 57-57页

作者：张肇富

美国麦克达米特公司发明一种新的无电镀镍的工艺。据称,该法是根据自催化化学还原的原理,使镍—磷合金粘附于金属表面的方法。经上述处理的镀层,金属表面均匀、坚硬、耐磨且耐蚀性极佳,外观光亮度近似于抛光过的不锈钢。据报道,无论不... 详细信息

美国麦克达米特公司发明一种新的无电镀镍的工艺。据称,该法是根据自催化化学还原的原理,使镍—磷合金粘附于金属表面的方法。经上述处理的镀层,金属表面均匀、坚硬、耐磨且耐蚀性极佳,外观光亮度近似于抛光过的不锈钢。据报道,无论不锈钢、合金钢、铸铁、铜、铜

关键词：无电镀镍镀覆金属表面

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喷油器喷孔加工及测量技术

现代制造工程 2011年第10期 104-108页

作者：王爱民湖南科技职业学院长沙410118

重点介绍国外激光钻喷孔及无电镀镍(ENP)技术加工喷孔的情况,介绍了多传感器测量喷孔的最新技术。为满足欧6排放法规的喷油器喷孔的加工与测量提供了重要的方法与借鉴。

关键词：喷孔激光钻孔无电镀镍多传感器测量

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Electroless Deposition of Ni-Co-P Alloy on 3D Printed Microarrays for Efficient Splitting of Water

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Electroless Deposition of Ni-Co-P Alloy on 3D Printed Microa...

作者： Rotich Isaiah KIPNGETICH 湖南大学

学位级别：硕士

几十年来,化石燃料作为工业和家庭主要燃料来源,对全球环境产生了重大影响。这是由于在化石燃料的使用过程中存在有害物质的产生,如二氧化碳、一氧化碳,和一些含氮和含硫的气体。另外,化石燃料是不可再生能源,随着供应不断减少,其成本... 详细信息

几十年来,化石燃料作为工业和家庭主要燃料来源,对全球环境产生了重大影响。这是由于在化石燃料的使用过程中存在有害物质的产生,如二氧化碳、一氧化碳,和一些含氮和含硫的气体。另外,化石燃料是不可再生能源,随着供应不断减少,其成本也在不断提高。与之相反的是,氢是一种环境友好、清洁、可再生的能源,且有希望成为化石燃料的替代品。目前为止,有一些方法被用于制氢,比如气体重整,尽管如此,人们仍在使用像甲烷这样的化石燃料。为了从水的分解中生产成本低且可持续的氢气,人们已经为高效且廉价的氢气生成反应(HER)付出了巨大的努力。电解水已被确定为最具潜力的制备可替代传统燃料来源之一。然而,到目前为止,还没有令人满意的催化剂来实现析氢反应(HER)和析氧反应(OER)的高催化性能。贵金属Pt和Ru O或Ir O是目前对HER和OER效果最好的电催化剂。然而,这些催化剂是非常昂贵、稀缺的,且最终将被耗尽,阻碍了其广泛和有竞争力的应用。为了寻找高效的非贵金属催化剂,人们正致力于从价格低廉、用料丰富的稀土中合成高效催化剂。提高催化剂催化活性的一种可能途径是杂原子掺杂,如(Co-NiFe)P,NiFe-P,NiCo-P等。在本论文中,提出构筑一种新型的双功能三维自支撑电催化剂电极结构用于电解水。由一个装载三元镍钴磷化物的聚合物三维平台组成,记作(NiCo-P@substrate)。首先,使用光敏树脂选择性固化(SLA)3D打印机打印三维电极,这种电极制造方法是为了解决传统的减法制造,如机械加工等问题。因为传统的减法制造无法实现打印复杂的体系结构,然而,我们希望得到更大的电化学活性表面积,所以采用SLA的方法来打印。然而,因SLA打印出的三维电极不导电,因此通过无电镀镍使其具有导电性。然后在三电极体系下对电极进行电沉积镍钴磷催化剂。实验结果表明,3D打印技术是一种很有前途的新方法,它可以实现最佳的电催化电极的制备,用于氢燃料生产中的水裂解,以取代化石燃料。此外,Ni-Co-P合金的协同性将带来更加高效的电水解性能,取代昂贵的贵金属材料,特别是铂基材料。该催化剂材料采用原位的电化学沉积,提高了电极的稳定性。因此,将3D打印电极技术与原位化学沉积法沉积Ni-Co-P合金相结合,可以为用裂解水制氢替代化石燃料制氢的方式带来长期解决方案。

关键词：增材制造 3D打印微阵列 HER/水裂解无电镀镍镍钴磷三元合金

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磷化镍微纳结构的制备及电催化析氢性能研究

磷化镍微纳结构的制备及电催化析氢性能研究

作者：胡存西南石油大学

学位级别：硕士

随着能源危机、环境污染、温室效应等问题的日益严重,发展可再生清洁能源迫在眉睫。氢能是一种无污染可再生的能源,具有高能量密度(120～140 MJ·kg-1)、环境友好、储量丰富、储存便利等优点,因此氢气被视为未来理想的高效能源载体。在... 详细信息

随着能源危机、环境污染、温室效应等问题的日益严重,发展可再生清洁能源迫在眉睫。氢能是一种无污染可再生的能源,具有高能量密度(120～140 MJ·kg-1)、环境友好、储量丰富、储存便利等优点,因此氢气被视为未来理想的高效能源载体。在众多制氢技术中,电解水制氢对于未来解决能源危机和环境问题具有极大的意义。在电解水制氢中,高效和稳定的催化剂至关重要。众所周知,铂基催化剂具有低的过电位、低起始电位、低Tafel斜率等优点,在电解水析氢反应中表现出无与伦比的催化性能。但铂基催化剂的高成本和稀缺性限制了它的大规模应用。开发具有高析氢催化活性和稳定性的低成本和储量丰富的替代品引起了很多研究者的关注。由于其高活性和稳定性,磷化镍在电催化析氢催化中得到广泛关注和研究。本文制备了两种结构新颖的磷化镍析氢催化剂并研究其析氢性能,得到了如下的研究结果:(1)开发了一种简单、高效、实用的磷化方法,以制备结构新颖的自支撑多孔磷化镍纳米片。所制备的自支撑多孔Ni5P4/NiP2纳米片在酸性电解液中表现出很好的析氢活性,在电流密度为10mA·cm-2时,具有相对较低的过电位(92 mV)和较小的Tafel斜率(52.8 mV·dec-1)。自支撑多孔Ni5P4/NiP2纳米片优异的电催化析氢性能可归因于充分的磷化反应提供了很高的电化学活性表面积以及Ni5P4与NiP2两相之间的协同作用。自支撑多孔Ni5P4/NiP2纳米片在加速衰减测试和长期稳定性测试中都显示出优异的稳定性。该方法可以用于制备具有几乎相同析氢活性和长时间稳定性的大面积自支撑多孔磷化镍纳米片,表明其具有实际应用潜力。这项工作为制备用于电催化析氢催化剂的过渡金属磷化物提供了一种新途径,以便利、稳定和实用的方式促进其商业化应用。(2)开发了一种非常方便和可扩展的方法,结合无电镀镍技术和高效磷化方法,实现了在不同基底上制备结构新颖的多孔磷化镍纳米片阵列。以碳布为基底所制备的多孔Ni5P4/NiP2/Ni2P纳米片在酸性电解液中表现出很好的析氢活性,在电流密度为10 mA·cm-2时,具有相对较低的过电位(63 mV)和较小的Tafel斜率(47.3 mV dec-1)。多孔Ni5P4/NiP2/Ni2P纳米片优异的电催化析氢性能可归因于具有很高的电化学活性表面积以及Ni5P4、NiP2、Ni2P三相之间的协同作用。多孔Ni5P4/NiP2/Ni2P纳米片在加速衰减测试和长期稳定性测试中都显示出优异的稳定性。Ni-P/CC-60-450表现出很好的韧性,该方法可以用于制备具有几乎相同析氢活性的大面积多孔磷化镍纳米片,表明其具有很高的实际应用潜力。以叶脉和蚕茧作为基底,采用该方法也可以制备具有高效电催化析氢性能的自支撑多孔磷化镍纳米片,表明该方法可以克服基底是否导电的问题。可以预期这项工作提供的方法是在不同基底上制备过渡金属磷化物用于电催化析氢的通用方法。

关键词：电催化析氢反应多孔磷化镍纳米片磷化方法无电镀镍

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基于纳米硅的传感器研究

基于纳米硅的传感器研究

作者：李辉麟华东师范大学

学位级别：硕士

随着现代信息技术的发展和环境监测等领域对信息获取精准度要求的不断提高,人们对信息感知器件的性能、结构及尺寸等方面的要求也越来越高。尤其是在环境监测领域,在湿度的检测与监控过程中,对湿度传感器的响应速度、稳定性、灵敏度以... 详细信息

随着现代信息技术的发展和环境监测等领域对信息获取精准度要求的不断提高,人们对信息感知器件的性能、结构及尺寸等方面的要求也越来越高。尤其是在环境监测领域,在湿度的检测与监控过程中,对湿度传感器的响应速度、稳定性、灵敏度以及器件集成度等的要求不断提高。为湿度传感器的研究与开发提供出了广阔的前景与挑战。本课题的研究是基于硅纳米线这种结构特性与表面活性优良的纳米材料,对硅纳米线的制备,纳米硅湿度传感器测试系统,纳米硅湿度传感器感湿特性,以及硅纳米线表面修饰等方面开展了研究,主要研究内容包括:首先,通过化学湿法刻蚀技术制备出了各种不同结构的硅纳米线阵列,通过对其表面形貌进行表征,并对所制备的硅纳米线阵列进行热退火处理,为其在湿度传感器方面的应用打好基础,同时也为制作基于纳米硅的湿敏传感器提供结构丰富的敏感材料。其次,利用硅纳米线比表面积大,表面活性强等特点,将其作为湿度敏感材料,制作成纳米硅湿度传感器原型。并采用自行设计的湿度测试系统,对制备的湿度传感器进行了相应的湿度响应特性测试。测试结果表明纳米硅湿度传感器在室温条件下响应时间和恢复时间都很好,分别达到50秒和75秒左右,而且该湿度传感器的灵敏度非常高,达到399pF/RH%,稳定性及可恢复性等性能均能与目前商品化传感器相比较。最后,开展了对硅纳米线表面镀镍修饰的初步研究,利用金属镍表面的亲水性能,进一步改善硅纳米线湿度传感器的响应时间和线性度。通过采用无电镀镍工艺成功地实现了在硅纳米线表面镀镍。通过对基于镍硅纳米线的湿度传感器湿度响应特性的测试,结果显示,镀镍修饰后的纳米硅湿度传感器的响应时间有很大的改善,大约为39秒。且其线性度也有明显的改善。

关键词：硅纳米线纳米硅湿度传感器湿法刻蚀无电镀镍镍硅纳米线

第二届海峡两岸材料腐蚀与防护研讨会论文摘要选登

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腐蚀与防护 2001年第2期 93-94页