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无氟mod法制备DyBa_2Cu_3O_(7-x)膜的高温热处理过程研究

稀有金属材料与工程 2010年第4期39卷 707-710页

作者：师晓燕蒲明华王文涛赵勇西南交通大学磁浮技术与磁浮列车教育部重点实验室四川成都610031 新南威尔士大学

采用无氟金属有机物沉积法(mod)在(00l)取向的LaAlO3单晶基底上制备出DyBa2Cu3O7-x(DyBCO)超导薄膜。由于采用了无氟金属有机物体系,分解过程中避免了采用传统的三氟醋酸盐时有害气体的产生。SEM分析表明,成相过程中增加高温热处理过程... 详细信息

采用无氟金属有机物沉积法(mod)在(00l)取向的LaAlO3单晶基底上制备出DyBa2Cu3O7-x(DyBCO)超导薄膜。由于采用了无氟金属有机物体系,分解过程中避免了采用传统的三氟醋酸盐时有害气体的产生。SEM分析表明,成相过程中增加高温热处理过程,可以明显提高外延生长薄膜的质量。X射线衍射(XRD)分析及φ扫描的结果表明,经过高温处理的DyBCO薄膜具有良好的面内外织构。本研究制备的DyBCO薄膜的超导转变温度达92K,77K自场下的临界电流密度达到1.8MA/cm2。

关键词：无氟mod 高温热处理 DyBCO薄膜

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无氟mod法制备GdBCO高温超导薄膜研究

无氟MOD法制备GdBCO高温超导薄膜研究

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作者：木丽云西南交通大学

学位级别：硕士

本论文综述了超导材料的发展、应用以及分类;简要介绍了REBCO高温超导薄膜的发展和制备方法;重点介绍了REBCO高温超导薄膜的结构、性能参数与其外延生长的机理;并阐明了本课题的研究目的及内容。本论文采用无氟金属有机物沉积方法(mod... 详细信息

本论文综述了超导材料的发展、应用以及分类;简要介绍了REBCO高温超导薄膜的发展和制备方法;重点介绍了REBCO高温超导薄膜的结构、性能参数与其外延生长的机理;并阐明了本课题的研究目的及内容。本论文采用无氟金属有机物沉积方法(mod)在单晶基底SrTiO(100)上制备GdBaCuO(GdBCO)薄膜。所用的无氟mod方法制备GdBCO薄膜具有前驱溶液稳定、薄膜致密性好以及相比于TFA-mod方法在热处理过程中无HF气体的产生等优点。经过一系列热处理工艺后,对薄膜进行X射线衍射(XRD)分析、扫描电镜(SEM)分析以及超导性能的测试。论文初步确定了GdBCO薄膜的分解工艺,最佳成相温度和渗氧温度。确定了熔融外延生长工艺的最佳熔融温度和熔融时间。制备得到的GdBCO熔融外延生长薄膜c轴织构良好,表面平整致密,膜厚300nm,临界超导转变温度为90K,77K自场下的临界电流密度约为0.6MA/cm。论文最后对GdBCO熔融外延生长薄膜的生长机理和影响因素进行了初步探索。

关键词：无氟mod GdBCO 熔融外延生长

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无氟PA-mod法制备SmBa2Cu3O7-x薄膜的热处理研究

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低温物理学报 2013年第1期35卷 7-11页

作者：杨新福王文涛赵立峰张欣杨立芹赵勇西南交通大学超导与新能源研究开发中心新南威尔士大学

采用无氟(PA-mod)在(00l)取向的LaAlO3单晶基底上制备SmBa2Cu3O7-x(SmBCO)超导薄膜,研究了不同成相热处理温度对薄膜性能的影响.X射线衍射(XRD)分析结果表明,经过高温处理的SmBCO薄膜其晶粒具有良好的c轴生长取向.扫描电镜(SEM)分析表明... 详细信息

采用无氟(PA-mod)在(00l)取向的LaAlO3单晶基底上制备SmBa2Cu3O7-x(SmBCO)超导薄膜,研究了不同成相热处理温度对薄膜性能的影响.X射线衍射(XRD)分析结果表明,经过高温处理的SmBCO薄膜其晶粒具有良好的c轴生长取向.扫描电镜(SEM)分析表明,790℃成相的SmBCO薄膜的表面更加平整致密.物理性能测试系统(PPMS)测试结果表明SmBCO样品的超导临界温度Tc为89.74K.研究了高温热处理过程中不同熔融温度制备SmBCO薄膜的影响.

关键词：无氟mod SmBCO薄膜热处理

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mod法制备YBCO薄膜及工艺研究

MOD法制备YBCO薄膜及工艺研究

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作者：张彦兵西南交通大学

学位级别：硕士

YBCO高温超导薄膜在军事、医学及电子等众多领域有非常广阔的应用前景，目前制备这种薄膜的主要方法有磁控溅射、激光脉冲沉积等。本论文旨在采用无氟mod法制得具有钙钛矿结构的致密YBCO薄膜。以无机盐为初始原料研究了溶胶形成过程中... 详细信息

YBCO高温超导薄膜在军事、医学及电子等众多领域有非常广阔的应用前景，目前制备这种薄膜的主要方法有磁控溅射、激光脉冲沉积等。本论文旨在采用无氟mod法制得具有钙钛矿结构的致密YBCO薄膜。以无机盐为初始原料研究了溶胶形成过程中的化学反应及成膜机理，探讨了LaALO基板上薄膜沉积技术等。进一步用X射线衍射仪和扫描电镜研究了薄膜结构、结晶情况和表面形貌，分析了衬底对YBCO薄膜制备的影响、以及不同热处理条件对薄膜结晶结构、形貌及性能的影响。研究结果如下： (1)采用钇、钡、铜的无机盐YO，BaCO，CuO作出发原料，络合剂采用聚乙烯醇缩丁醛树脂的丙酸溶液，可以制得成膜质量好的稳定溶胶。 (2)为探索采用mod方法在LaAlO(001)单晶基片上制备性能良好的YBCO超导薄膜的最佳热处理条件，我们在分解热处理条件相同的情况下改变成相、渗氧热处理的温度，确定了薄膜制备的最佳热处理工艺。 (3)XRD测试表明由溶胶制成的YBCO薄膜形成了比较完全的YBaCuO超导相，分析表明YBCO具有良好c轴取向，同时杂相较少。 (4)SEM测试分析YBCO薄膜具有较好的表面形貌，但样品转变温度(Tc)较低。

关键词： YBCO 无氟mod 结晶织构热处理外延生长

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