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  • 1 篇 学位论文

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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 热场温度
  • 1 篇 模型切换控制
  • 1 篇 改进蚁狮优化算法
  • 1 篇 cz硅单晶
  • 1 篇 新型t-s模型辨识

机构

  • 1 篇 西安理工大学

作者

  • 1 篇 景坤雷

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=新型T-S模型辨识"
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CZ硅单晶等径阶段热场温度建模与控制方法研究
CZ硅单晶等径阶段热场温度建模与控制方法研究
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作者： 景坤雷 西安理工大学
学位级别：硕士
大规模集成电路和太阳能光伏产业的发展对硅单晶的品质和尺寸提出了更高要求,直拉法是制备高品质硅单晶的有效方法。传统的控制系统结构基于视觉测径,通过加热器和提拉速度控制CZ硅单晶生长过程,但因关键变量耦合复杂不易实现解耦控制... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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