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中国光学 2022年第3期15卷 514-524页

作者：张雅丽余卿尚文键王翀刘婷王寅程方华侨大学机电及自动化学院福建厦门361021

彩色共聚焦测量技术因无需轴向扫描,测量精度和测量效率高等优点,被广泛应用于工业领域,如高度测量和透明材料厚度检测等。然而,常见的彩色共聚焦系统多为同轴照明结构,即照明光轴和成像光轴都垂直于被测试样,系统的信噪比和光能利用率... 详细信息

彩色共聚焦测量技术因无需轴向扫描,测量精度和测量效率高等优点,被广泛应用于工业领域,如高度测量和透明材料厚度检测等。然而,常见的彩色共聚焦系统多为同轴照明结构,即照明光轴和成像光轴都垂直于被测试样,系统的信噪比和光能利用率大大降低。现有的斜照明系统成像面光点漂移量较大,测量精度和应用范围受限。为此,本文提出一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量方法,将现有斜照明系统的“V字形”结构调整为“三轴结构”,通过增加调节支路限制光点的漂移;同时,利用面阵彩色相机作为光电接收器件,结合颜色转换算法通过光点颜色得到所需高度值。本文先进行标定实验确定本装置的测量范围及精度;再依次以自制台阶和透明材料作为测量对象,得到相应的被测值。同时,为了验证改进后的系统性能,在相同条件下利用“V字型”系统进行对比实验。实验结果表明,该系统的轴向测量范围为350μm,重复性优于1.69,轴向测量精度可达到微米级,且该系统具有良好的透明材料厚度测量能力。通过对比试验可以验证,系统对于光点漂移具有良好的抑制效果,且抑制后系统的测量准确度有明显提升。

关键词：彩色共聚焦斜照明三轴结构透明材料

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接近式光刻中斜照明改善分辨率的模拟与分析

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微细加工技术 2001年第2期 9-13,60页

作者：赵永凯黄惠杰路敦武杜龙龙杨良民袁才来蒋宝财王润文中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800

根据菲涅尔基尔霍夫衍射公式 ,推导出斜照明接近式光刻系统中硅片表面的光强分布 ,并在几种条件下进行了模拟数值计算 ,分析了斜照技术的实用条件及改善光刻分辨率的效果和应用前景。

关键词：接近式光刻准分子激光光刻分辨率斜照明

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手术显微镜的整机设计

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光学工程 1984年第4期 21-26页

作者：应绍东

本文简述了手术显微镜应满足的基本要求;从性能、系统形式、指标及局部结构等方面论述了整机设计的考虑要点。

关键词：手术显微镜整机设计焦距放大倍率转动支架调焦放大率斜照明变焦距系统

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低倍照相在航空构件失效分析中的应用

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材料工程 1983年第3期 40-46页

作者：吴培远

一般多把低倍照相当作记录失效构件原始状态的一种方式,此后即可破坏取样进行诸如扫描,磨片观察等试验。因此,所用设备限于人像座机,最多是1:1放大。实际上,这是不全面的,不足以显示构件失效的宏观特征,常常影响对某些结果的正确分析。... 详细信息

一般多把低倍照相当作记录失效构件原始状态的一种方式,此后即可破坏取样进行诸如扫描,磨片观察等试验。因此,所用设备限于人像座机,最多是1:1放大。实际上,这是不全面的,不足以显示构件失效的宏观特征,常常影响对某些结果的正确分析。作为构件失效的低倍考查(包括照相),实用倍率一般指20倍以下。此时,不仅可拍摄若干

关键词：斜照明垂直照明疲劳断口失效分析失效物理构件

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