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基于角度分辨倾斜背散射拉曼光谱的单晶硅应力分量解耦分析

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Acta Mechanica Sinica 2024年第4期40卷 238-250页

作者：常颖何赛赛孙铭媛赵宇琦马路路仇巍 Tianjin Key Laboratory of Modern Engineering Mechanics Department of MechanicsTianjin UniversityTianjin300072China

对于应变工程而言,应力是控制半导体器件光电性能的关键.显微拉曼光谱是一种有效的半导体材料应力无损分析技术.然而,使用传统拉曼方法得到的结果通常是特定晶体/特定晶面的面内等效应力或主应力和.本文提出了一种基于角度分辨倾斜背散... 详细信息

对于应变工程而言,应力是控制半导体器件光电性能的关键.显微拉曼光谱是一种有效的半导体材料应力无损分析技术.然而,使用传统拉曼方法得到的结果通常是特定晶体/特定晶面的面内等效应力或主应力和.本文提出了一种基于角度分辨倾斜背散射显微拉曼光谱的应力分析方法.通过在样品坐标系中求解晶格动力学方程,在特征向量坐标系中进行拉曼选择,提出了一种通用的物理力学模型.利用该模型,考虑折射率、转偏和数值孔径影响等因素,建立了任意应力状态下任意晶面(以单晶硅{100}面为例)上偏振拉曼频移与各应力分量的解析关系.验证实验表明,应力分量的分析结果与施加的应力状态非常吻合.证明了基于角度分辨倾斜背散射显微拉曼光谱的方法、模型和仪器,能够解决单晶硅特别是{100}晶面上的应力分量不能通过拉曼测量解耦的普遍问题.

关键词：显微拉曼光谱材料应力应力分量背散射半导体器件晶格动力学无损分析数值孔径

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光子晶体光纤数值孔径的测量和数值研究

光谱学与光谱分析 2010年第7期30卷 1908-1912页

作者：郭艳艳侯蓝田燕山大学红外光纤与传感研究所亚稳材料制备技术与科学重点实验室河北秦皇岛066004

光纤的数值孔径是光纤的重要参数,大数值孔径光纤在激光器和激光感应荧光系统中有很好的应用前景。光子晶体光纤的数值孔径与传统阶跃型光纤不同,它与光波长有密切的关系。因此,本文用光谱仪测量了不同结构的折射率引导型光子晶体光纤... 详细信息

光纤的数值孔径是光纤的重要参数,大数值孔径光纤在激光器和激光感应荧光系统中有很好的应用前景。光子晶体光纤的数值孔径与传统阶跃型光纤不同,它与光波长有密切的关系。因此,本文用光谱仪测量了不同结构的折射率引导型光子晶体光纤的数值孔径,并进行了数值模拟,研究了光波长、包层空气孔直径、孔间距等对光子晶体光纤数值孔径的影响,同时对光子晶体光纤的非线性系数、宏弯损耗、截止波长、有效模面积等与光波长有关的参数进行了研究,取得了满意的结果。

关键词：光子晶体光纤数值孔径光谱仪有效模面积截止波长

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数值孔径与数字剪切散斑干涉条纹亮度的关系

光学学报 1994年第11期14卷 1187-1191页

作者：何玉明华中理工大学力学系

分析了数字剪切散斑干涉条纹图的形成理论，并获得了条纹亮度与摄象机数值孔径等参数的精确关系式．从理论分析和实验验证均得出在采用小的摄象机数值孔径和３ｍｗＨｅ－Ｎｅ激光器的情况下，仍可获得比较满意的数字剪切散斑干涉条纹图... 详细信息

分析了数字剪切散斑干涉条纹图的形成理论，并获得了条纹亮度与摄象机数值孔径等参数的精确关系式．从理论分析和实验验证均得出在采用小的摄象机数值孔径和３ｍｗＨｅ－Ｎｅ激光器的情况下，仍可获得比较满意的数字剪切散斑干涉条纹图．理论工作及其结论对于进行数字剪切散斑干涉实验的最佳参数选择具有指导作用．

关键词：散斑干涉计算干涉条纹图亮度数值孔径

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光斑光强渐变测量通信光纤数值孔径

红外与激光工程 2006年第Z2期35卷 132-134页

作者：赵小兰华南理工大学电子与信息学院广东广州510640

数值孔径 NA(NumericalAperture)是通信光纤的一个重要光学参数,表征了光纤的集光能力.它与光纤传输系数的计量有密切关系,对通信光纤的传输带宽有很大影响.光纤数值孔径的测量方法有多种,文中设计了一种用于通信光纤数值孔径快速测量... 详细信息

数值孔径 NA(NumericalAperture)是通信光纤的一个重要光学参数,表征了光纤的集光能力.它与光纤传输系数的计量有密切关系,对通信光纤的传输带宽有很大影响.光纤数值孔径的测量方法有多种,文中设计了一种用于通信光纤数值孔径快速测量的装置,该装置包括光源、刻度旋转台、微调机构及数字仪表等单元,测量基于光斑光强渐变机理,根据仪表显示值在临界点突变可确定被测光纤的数值孔径,实验表明该装置测量稳定可靠,多次测量平均值的重复性优于2%.

关键词：通信光纤数值孔径光斑渐变法

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大数值孔径光学镜约束多级衍射机理

影像科学与光化学 2020年第2期38卷 181-189页

作者：王倩陈欣文永富杨昊王华英程灏波北京理工大学深圳研究院广东深圳518057 北京理工大学光电学院北京100081 河北工程大学数理科学与工程学院河北邯郸056038

针对基于激光照明的离轴全息显微成像系统存在散斑和寄生条纹噪声,以及基于部分相干光照明的离轴数字全息显微技术存在相干条纹对比度差的问题,本文提出了一种基于单色LED照明的衍射相位显微成像系统。该系统利用大数值孔径物镜及光栅... 详细信息

针对基于激光照明的离轴全息显微成像系统存在散斑和寄生条纹噪声,以及基于部分相干光照明的离轴数字全息显微技术存在相干条纹对比度差的问题,本文提出了一种基于单色LED照明的衍射相位显微成像系统。该系统利用大数值孔径物镜及光栅对物光进行多级衍射,并采用4f系统和空间滤波器分离出0级和+1级信息,分别作为参考光和物光,最终两束光在CCD阵面上干涉产生离轴全息图,从而形成共光路全息成像结构。通过理论分析和计算,对实验用到的光学元器件进行选型,确保衍射光频谱信息能够分开且满足抽样条件。最后与传统激光离轴数字全息显微成像检测结果进行对比,实验结果表明,本文提出的系统能够获得较高的成像准确度和信噪比。

关键词：数字全息定量成像衍射光栅数值孔径共路离轴