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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 掺硅类金刚石膜
  • 1 篇 摩擦
  • 1 篇 硬度
  • 1 篇 结构

机构

  • 1 篇 北京交通大学
  • 1 篇 东京大学

作者

  • 1 篇 加藤孝久
  • 1 篇 兰惠清
  • 1 篇 崔俊豪

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=掺硅类金刚石膜"
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掺硅类金刚石膜的摩擦学性能研究
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真空科学与技术学报 2011年 第1期31卷 61-66页
作者： 兰惠清 崔俊豪 加藤孝久 北京交通大学机械与电子控制工程学院 北京100044 东京大学机械系
以甲苯(C7H8)和四甲基硅烷(Si(CH3)4)的混合气体为反应气源,使用离子气相沉积技术制备了不同Si含量(原子比)(不超过20%)的掺硅类金刚石(Si-DLC)薄膜,用X射线光电子谱和拉曼光谱测出薄膜和对磨钢球上转移膜的微观结构,纳米压痕仪、摩擦... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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