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文献类型

  • 13 篇 期刊文献
  • 9 篇 学位论文

馆藏范围

  • 22 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 20 篇 工学
    • 9 篇 机械工程
    • 5 篇 光学工程
    • 5 篇 电子科学与技术（可...
    • 3 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电气工程
    • 1 篇 信息与通信工程
    • 1 篇 计算机科学与技术...

主题

  • 22 篇 掩模台
  • 8 篇 光刻机
  • 5 篇 工件台
  • 3 篇 运动控制
  • 2 篇 解耦
  • 2 篇 光栅干涉仪
  • 2 篇 控制系统
  • 2 篇 光学光刻技术
  • 2 篇 位移测量
  • 2 篇 扩张状态观测器
  • 1 篇 ansys
  • 1 篇 射线片
  • 1 篇 数值孔径
  • 1 篇 分数阶
  • 1 篇 前馈控制
  • 1 篇 系统架构
  • 1 篇 镜头
  • 1 篇 干扰观测器
  • 1 篇 套刻精度
  • 1 篇 测量系统

机构

  • 11 篇 哈尔滨工业大学
  • 4 篇 桂林电子科技大学
  • 3 篇 上海微电子装备股...
  • 1 篇 华中科技大学
  • 1 篇 中国科学院长春光...
  • 1 篇 中国科学院上海光...
  • 1 篇 中南大学

作者

  • 3 篇 陈兴林
  • 2 篇 张文涛
  • 2 篇 王献英
  • 2 篇 王岩
  • 1 篇 邓乐
  • 1 篇 刘丹
  • 1 篇 刘杨
  • 1 篇 李志来
  • 1 篇 黄惠杰
  • 1 篇 林灿发
  • 1 篇 齐彪
  • 1 篇 饶裕
  • 1 篇 吴志会
  • 1 篇 周航汛
  • 1 篇 张志钢
  • 1 篇 周乃新
  • 1 篇 谈恩民
  • 1 篇 程兆谷
  • 1 篇 张霖
  • 1 篇 王斌

语言

  • 22 篇 中文
检索条件"主题词=掩模台"
共 22 条 记 录，以下是21-30 订阅
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扫描轨迹下的分段迭代补偿策略
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自动化仪表 2015年 第5期36卷 19-22页
作者： 魏凯 范文超 陈兴林 张广莹 哈尔滨工业大学航天学院 黑龙江哈尔滨150001
为提高光刻机掩模台系统的步进扫描品质,进而提高硅片成品质量,提出一种基于S曲线的轨迹规划。对迭代学习控制进行了研究,并针对普通全局迭代算法可能造成系统在特定环节恶化的局限性,采用分段迭代补偿策略,对迭代学习控制器进行分段优... 详细信息
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制版、光刻、腐蚀与掩模工艺
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引用
电子科技文摘 1999年 第12期 42-43页
目前看来,193nm 光学光刻很有希望应用到0.13μm集成电路工业生产中去。本文从光源、照明系统、掩模、光刻胶、光刻机等方面对193nm 光学光刻技术进行了分析,并介绍了它目前的一些进展情况,最后对它的应用前景进行了简要分析。
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