咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 期刊文献
  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学

主题

  • 2 篇 振动环形
  • 1 篇 陀螺仪
  • 1 篇 误差机理
  • 1 篇 偏航速率传感器
  • 1 篇 误差补偿
  • 1 篇 硅微陀螺仪
  • 1 篇 多晶硅

机构

  • 1 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 1 篇 ayazi. f
  • 1 篇 马宝国
  • 1 篇 赵晓辉

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=振动环形"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
一种高性能多晶硅振动环形陀螺的设计与制造
收藏 引用
战术导弹控制技术 1999年 第1期7卷 37-46页
作者: Ayazi.,F 马宝国
本文对振动环形陀螺的设计和定标限度及采用复合整体和表面微加工技术的完成情况作了详细分析。采用高纵横比p++(深层硼扩散)/多晶硅沟槽填充制造技术,能够实现30-40μm厚的多晶硅环形结构,其环-电极间隙为0.9μm。
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
硅微陀螺仪误差机理及试验研究
硅微陀螺仪误差机理及试验研究
收藏 引用
作者: 赵晓辉 哈尔滨工业大学
学位级别:硕士
硅微陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪,它具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、数字化等一系列优点。因此,硅微陀螺仪在航空航天、地质勘探、医学、汽车工业以及机器人等领域具有广阔的应用价值和前景。与其它陀螺仪相比硅... 详细信息
来源: 同方学位论文库 同方学位论文库 评论