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  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 子孔径
  • 1 篇 拼接准确度
  • 1 篇 光学检测

机构

  • 1 篇 中国科学院长春光...
  • 1 篇 济源职业技术学院

作者

  • 1 篇 宣丽
  • 1 篇 彭增辉
  • 1 篇 曹召良
  • 1 篇 穆全全
  • 1 篇 胡立发
  • 1 篇 刘永刚
  • 1 篇 胡五生

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=拼接准确度"
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子孔径光学检测拼接准确度实验研究
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光子学报 2008年 第6期37卷 1233-1237页
作者： 曹召良 胡五生 穆全全 胡立发 彭增辉 刘永刚 宣丽 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 济源职业技术学院 河南济源454650
实验研究了子孔径光学检测的拼接准确度.实验选取9个子孔径进行拼接,同时利用ZYGO干涉仪来测量子孔径和整个被检面的表面面形.实验发现,测量基准子孔径和整个被检面的时间间隔对子孔径拼接准确度的评价存在严重影响.为此,重点研究了产... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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