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  • 1 篇 8英寸
  • 1 篇 铌酸锂
  • 1 篇 折射率脉理
  • 1 篇 提拉法
  • 1 篇 自然对流

机构

  • 1 篇 山东大学
  • 1 篇 济南大学
  • 1 篇 山东恒元半导体科...

作者

  • 1 篇 韩文斌
  • 1 篇 刘宏
  • 1 篇 彭立果
  • 1 篇 孙德辉
  • 1 篇 李陈哲

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=折射率脉理"
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8英寸铌酸锂晶体生长研究
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人工晶体学报 2024年 第3期53卷 434-440页
作者： 孙德辉 韩文斌 李陈哲 彭立果 刘宏 济南大学前沿交叉科学研究院 济南250022 山东恒元半导体科技有限公司 济南271100 山东大学晶体材料国家重点实验室 济南250100
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)在新一代信息技术中关键通信器件领域的作用日益显著,随着铌酸锂单晶薄膜制备技术和光子集成技术的发展,降低芯片成本、增加芯片集成度是光子集成芯片永恒不变的发展方向,因此迫切需求大尺寸铌酸锂晶体。本文讨论... 详细信息
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