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  • 2 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 力学（可授工学、理...
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 2 篇 微电子机械系统
  • 2 篇 高频光栅
  • 2 篇 面内变形
  • 2 篇 扫描离子束云纹法
  • 2 篇 应变

机构

  • 2 篇 清华大学
  • 1 篇 教育部破坏力学重...

作者

  • 2 篇 谢惠民
  • 2 篇 李标
  • 2 篇 尚海霞
  • 2 篇 戴福隆

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=扫描离子束云纹法"
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扫描离子束云纹法
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光学技术 2003年 第1期29卷 23-26页
作者： 谢惠民 李标 尚海霞 戴福隆 清华大学工程力学系 北京100084 清华大学结构与振动开放实验室
提出了一种在微米尺度下测量物体面内位移的新型扫描离子束云纹法。对该方法的测量原理以及变形测量的精度进行了阐述。以平行云纹和转角云纹为典型实验对该方法的测量精度进行了检验。该方法成功地应用于微电子系统结构在去除SiO2牺牲... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
微电子机械系统(MEMS)面内位移的扫描离子束云纹法实验研究
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实验力学 2003年 第1期18卷 12-16页
作者： 谢惠民 戴福隆 尚海霞 李标 清华大学工程力学系 北京100084 教育部破坏力学重点实验室 客座研究人员北京100084
本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法.对该方法的测量原理以及实验技术进行了详尽地阐述.通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验.成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生... 详细信息
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