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学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 化学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 微触觉测头
  • 1 篇 扫描测量平台
  • 1 篇 纳米测量机
  • 1 篇 微机电系统

机构

  • 1 篇 上海市计量测试技...
  • 1 篇 天津大学

作者

  • 1 篇 孙薇斌
  • 1 篇 栗大超
  • 1 篇 胡小唐
  • 1 篇 邵力
  • 1 篇 傅星
  • 1 篇 李源

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=扫描测量平台"
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基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的扫描测量平台
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仪器仪表学报 2009年 第3期30卷 580-585页
作者： 李源 孙薇斌 邵力 傅星 栗大超 胡小唐 上海市计量测试技术研究院 上海201203 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力。基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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