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高衍射效率衍射望远镜系统的设计/加工及成像性能测试

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光子学报 2017年第3期46卷 114-122页

作者：王若秋张志宇国成立薛栋林张学军刘华中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室长春130033 中国科学院大学北京100049 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电技术研发中心长春130033

为提高衍射效率,设计并制作了口径为300mm的衍射成像系统.该系统的物镜是由一块四台阶位相型菲涅尔波带片通过激光直写套刻和Ar离子束物理刻蚀技术在石英玻璃基板上加工而成.测试了衍射物镜的衍射效率,实验结果表明:衍射物镜在波长632.... 详细信息

为提高衍射效率,设计并制作了口径为300mm的衍射成像系统.该系统的物镜是由一块四台阶位相型菲涅尔波带片通过激光直写套刻和Ar离子束物理刻蚀技术在石英玻璃基板上加工而成.测试了衍射物镜的衍射效率,实验结果表明:衍射物镜在波长632.8nm处的衍射效率为66.4%,达到理论值的82%.搭建了衍射成像系统光路,分别采用10μm星点孔与分辨率板,测试了系统的成像性能.实验测得星点像直径为44μm,分辨率板的极限分辨率达到84lp/mm,接近该系统的理论计算值,表明该衍射成像系统具有较好的成像性能.

关键词：光学设计空间望远镜衍射元件衍射效率成像性能

16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究

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光学学报 2019年第1期39卷 427-434页

作者：李艳秋刘岩刘丽辉北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室北京100081 北京航天计量测试技术研究所北京100076

16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据,对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光过程中反射镜的瞬... 详细信息

16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据,对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光过程中反射镜的瞬态温度和变形分布。以Zernike多项式为接口拟合变形面,分析热变形对成像性能的影响。结果表明:物镜的最高温升和最大变形分别为3.9℃和10.2 nm,高温态物镜的热变形引起的最大波像差均方根和畸变分别为0.1λ和56 nm,超出了合理范围。M3和M4反射镜热变形累加引起的波像差和畸变的占比分别为88%和99%,对成像性能的影响起主导作用,需要对其进行严格控温。

关键词：光学设计热变形极紫外光刻有限元分析反射系统成像性能

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可见光成像系统成像性能检测研究

光电子．激光 2013年第12期24卷 2360-2366页

作者：李文娟张元于勇戴景民哈尔滨理工大学电气与电子工程学院黑龙江哈尔滨150080 哈尔滨理工大学机械动力工程学院黑龙江哈尔滨150080 哈尔滨工业大学电气工程与自动化学院黑龙江哈尔滨150001

通过分析可见光成像系统成像性能评价体系,引入最小可分辨对比度(MRC)评价指标,并与调制传递函数(MTF)共同评价可见光成像系统的成像性能。在MRC和MTF的测量原理基础上,设计研制出既可测量MRC又可测量MTF的装置。提出了采用两个重叠积... 详细信息

通过分析可见光成像系统成像性能评价体系,引入最小可分辨对比度(MRC)评价指标,并与调制传递函数(MTF)共同评价可见光成像系统的成像性能。在MRC和MTF的测量原理基础上,设计研制出既可测量MRC又可测量MTF的装置。提出了采用两个重叠积分球分别对靶标的正反两面照明,通过改变这两个积分球的亮度就可以实现可变对比度的新方法。设计了可旋转的圆形靶标轮,将测量MRC和MTF所需的靶标置于其上,以利于实现不同参量的测量。同时,开展了一系列的实验研究。研究结果表明,测量的亮度误差均在±0.3cd·m-2范围内,目标亮度和背景亮度稳定、重复性好,满足了设计要求;成像性能高的系统其MRC越小,而MTF曲线与空间频率轴所围的面积越大。MRC和MTF的测量可更加全面、定量和有效地评价成像系统的成像性能。

关键词：可见光成像系统成像性能最小分辨率对比度(MRC) 调制传递函数(MTF)

充Xe多丝室中Xe的KX射线对成像性能影响的MC模拟

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核技术 2002年第3期25卷 183-188页

作者：傅成栋汪晓莲李澄许咨宗中国科学技术大学近代物理系合肥230026

对不同能量 (2 0— 10 0keV)的X射线在充 3个大气压Xe的多丝室中与Xe原子相互作用的过程进行了蒙特卡罗模拟研究 ,讨论康普顿散射和Xe的特征X射线对高气压丝室的定位性能的影响 ,并通过对低密度试模成像的模拟 ,观察KX射线在高气压丝室... 详细信息

对不同能量 (2 0— 10 0keV)的X射线在充 3个大气压Xe的多丝室中与Xe原子相互作用的过程进行了蒙特卡罗模拟研究 ,讨论康普顿散射和Xe的特征X射线对高气压丝室的定位性能的影响 ,并通过对低密度试模成像的模拟 ,观察KX射线在高气压丝室中引起的图象畸变。

关键词：高气压丝室 KX射线 MC模拟氦成像性能 X射线成像蒙特卡罗模拟多丝正比室

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高能闪光照相中陡坡准直体成像性能实验研究

核电子学与探测技术 2007年第3期27卷 512-515页

作者：肖智强刘军胡八一刘瑞根中国工程物理研究院流体物理研究所四川绵阳621900

在针对FTO样品的高能闪光照相实验中,比较了一般准直体与陡坡准直体对FTO样品的成像性能。结果表明,陡坡准直体对降低散射及缩小照射量量程非常有效,可得到层次分明的底片图像;采用一般准直体则无法得到有意义的样品图像。对实验进行了... 详细信息

在针对FTO样品的高能闪光照相实验中,比较了一般准直体与陡坡准直体对FTO样品的成像性能。结果表明,陡坡准直体对降低散射及缩小照射量量程非常有效,可得到层次分明的底片图像;采用一般准直体则无法得到有意义的样品图像。对实验进行了蒙卡模拟,模拟结果与实验结果一致。

关键词：高能 X射线照相陡坡准直体成像性能实验研究

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CT 机成像性能检测模体的研制

计量技术 1997年第9期 30-32页

作者：杜国生吴毅白斌田中青万国庆袁松虹陈苹北京市放射卫生防护所中国计量科学研究院

通过对ＡＡＰＭ模体Ｃａｔｐｈａｎ模体和Ｓｔｅｍｅｎｓ（西门子）、ＧＥ（通用电器）、Ｐｈｉｌｉｐｓ（菲利浦）等公司质控模体的分析与研究，取长补短，参考ＡＡＰＭ的１号报告、３９号报告，依据ＩＥＣ１２２３－２－６标准进行设... 详细信息

通过对ＡＡＰＭ模体Ｃａｔｐｈａｎ模体和Ｓｔｅｍｅｎｓ（西门子）、ＧＥ（通用电器）、Ｐｈｉｌｉｐｓ（菲利浦）等公司质控模体的分析与研究，取长补短，参考ＡＡＰＭ的１号报告、３９号报告，依据ＩＥＣ１２２３－２－６标准进行设计加工，研制出能检测各种型号ＣＴ机成像性能的模体。模体结构紧凑，模块布置合理，加工精细，能检测空间分辨力、低对比度分辨力、层厚和ＣＴＤＩ（ＣＴ剂量指数）等１２个性能参数。可用于ＣＴ机验收测试和ＱＡ（质量评价）测试。

关键词： CT模体检测 CT机成像性能

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新型光生酸剂的合成及其成像性能研究

新型光生酸剂的合成及其成像性能研究

作者：王美丽北京印刷学院

学位级别：硕士

光生酸剂(Photo-acid Generator,简称PAG)是一类在外界刺激(如光、热、射线、等离子体等)下能够从中性化合物中分解形成特定酸的化合物,由于其形成的酸可以由外界条件控制,因此被广泛应用于如光刻胶、计算机直接制版等需要潜在酸的体系... 详细信息

光生酸剂(Photo-acid Generator,简称PAG)是一类在外界刺激(如光、热、射线、等离子体等)下能够从中性化合物中分解形成特定酸的化合物,由于其形成的酸可以由外界条件控制,因此被广泛应用于如光刻胶、计算机直接制版等需要潜在酸的体系中。因此,设计、合成新型、高效光生酸剂,研究结构与产酸性能之间的关系,探讨含有光生酸剂与酸敏高分子成像体系的性能具有十分重要的意义。本研究以取代的醛类化合物与2-甲基-4, 6-二(三氯甲基)- 1, 3, 5-三嗪(1a)为原料,在哌啶和乙酸为催化剂,无水乙醇为溶剂的条件下,合成了一系列的三嗪类光生酸剂(结构如图示),并且通过1HNMR、IR、MS等确定了其结构。该合成方法用乙醇作为溶剂取代了原来的甲苯,毒性低,操作简单,反应时间短,产物易分离,外观好,纯度高。对合成的光生酸化合物的溶解性、热稳定性、紫外吸收特性、分解及产酸性能进行了测试。结果发现三嗪类光生酸剂在常用有机溶剂(CHCl、THF等)中具有很好的溶解性;除了PAG4和PAG8之外,其他的光生酸剂热分解起始温度大部分都在190～300℃,有很好热稳定性能。取代基和溶剂对光生酸剂的紫外吸收有很大影响。另外,根据本研究室确立的研究方法,考察了它们在405nm和365nm下乙腈溶剂中的产酸性能。可以得出:合成的光生酸剂中,PAG1、PAG4含有给电子能力很强的含氮基团和大共轭体系而且具有典型的D-π-A结构,从而具有较高的产酸量子产率。尤其是PAG1在405nm下的产酸量子产率达到60%。本研究利用PAG构建了两种成像体系: 含有羟甲基酚醛树脂交联体系可行性配方:线性酚醛树脂和羟甲基交联剂(质量比=1.2:1)、PAG(固含量1%)、极少量的染料。碘镓灯曝光成像后的图文与非图文区亲和性不同,而且界面清晰。印刷品再现性好。含有2, 6-二羟甲基对甲酚(交联剂)体系的可行性配方:线性酚醛树脂与小分子交联剂(质量为=3:1),PAG(固含量5%),极少量的染料。碘镓灯和405nm光源曝光成像后的图文与非图文区亲和性不同,而且界面清晰。通过探讨曝光时间、烤版温度和显影浓度等成像因素,得到了两种新型含PAG酸敏树脂交联型成像体系,有望应用于紫激光成像系统。

关键词：光生酸剂三嗪衍生物酚醛树脂酸敏树脂成像性能

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酸敏树脂的合成及其成像性能研究

酸敏树脂的合成及其成像性能研究

作者：郑卫平北京印刷学院

学位级别：硕士

本论文主要涉及到三类亲和性变化成像体系。对所需的单体、聚合物等进行了合成,并对合成聚合物的基本物化性能及其用于光敏成像体系的成像性能进行较系统的研究。(1)本研究中,合成了甲基丙烯酸正丁酯(BuMA)与甲基丙烯酸(MAA)、苯乙烯(St... 详细信息

本论文主要涉及到三类亲和性变化成像体系。对所需的单体、聚合物等进行了合成,并对合成聚合物的基本物化性能及其用于光敏成像体系的成像性能进行较系统的研究。(1)本研究中,合成了甲基丙烯酸正丁酯(BuMA)与甲基丙烯酸(MAA)、苯乙烯(St)的共聚物,并对其与2,2-二[4-(2-氧乙烯乙氧基)苯]丙烷(BPA-DEVE)(以下简称二乙烯醚)和光产酸剂(PAG)组成的成像体系的成像性能进行了考察。研究结果表明:二乙烯醚含量的增多、预烤版温度的升高和时间的延长对交联程度的加深都是有利的,三者之间的有效结合能产生预期的交联效果;PAG为3,4-二甲氧基苯乙烯三嗪(DMOS-triazine)或三苯胺硫鎓盐(TPASS)时,体系都能很好成像,并随着后烤版温度的升高,成像时所需的曝光时间减少,即敏感度增大;PAG为DMOS-triazine时,温度对成像敏感度的影响不大,PAG为TPASS时,温度对成像敏感度的影响较大,尤其在MAA单元含量多的树脂组成体系中表现的更为明显。对两种成像体系的比较表明:MAA含量多的体系,成像敏感度反而小。(2)合成了甲基丙烯酸叔丁酯(TBMA)单体及其均聚物,以及与MAA、St的共聚物,并对其基本物性及部分聚合物的热稳定性和酸存在下的热稳定性进行了考察。结果表明:甲基丙烯叔丁酯的均聚物和共聚物有较好的热稳定性,树脂中TBMA单元的分解温度都在200℃以上,但其在酸存在下表现出热不稳定性,并随酸含量的增多,其分解的温度越低,酸含量的增多和温度的升高都能极大地促进树脂中TBMA单元的分解而使树脂发生亲和性转变。另外,延长烤版时间也对树脂中TBMA单元的分解有利。研究中,还对TBMA共聚物与二乙烯醚(BPA-DEVE)和光产酸剂(PAG)所组成的成像体系的成像性能进行了较系统的研究,结果表明:三嗪类PAG曝光产生的HCl对树脂中TBMA单元的酸解效果较差,但其对树脂中羧基和BPA-DEVE形成的交联结构的解交联有较好的效果;三苯胺硫鎓盐曝光产生的三氟甲磺酸对树脂中TBMA单元分解和体系的解交联都有较好效果;成像体系中,树脂中MAA含量增加,体系的成像敏感度也增加,但MAA含量过多时,敏感度反而下降。(3)合成了甲基丙烯酸1-丁氧乙酯(BOEMA)单体及其与MAA、St或异冰片酯(IBOMA)或甲基丙烯酸甲酯(MMA)的共聚物,并对其基本物性及聚合物的热稳定性和进行了考察。结果表明:BOEMA的共聚物的热稳定性稍差,并随树脂中MAA含量的增多而热稳定性下降。当树脂中MAA含量较低时,BOEMA与St的共聚物和BOEMA与IBOMA或MMA的共聚树脂相比,表现出更好的热稳定性,分解温度有明显差异(相差30度以上);另外,湿度对BOEMA的聚合物的稳定性也有很大影响,湿度越高,树脂分解越快。此外,对热稳定较好的两种BOEMA与MAA、St的共聚物与PAG所组成的成像体系的成像性能进行的研究表明:PAG为对甲氧基苯乙烯三嗪(PMOS-triazine)或三苯胺硫鎓盐时,无需后烤版,体系便能很好成像;PAG为PMOS-triazine时,后烤版温度对体系成像敏感度的影响很小, PAG为三苯胺硫鎓盐时,后烤版温度对体系成像敏感度的影响很大。

关键词：酸敏树脂交联解交联成像性能

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关于CCD相机成像性能评价的扎记

航天返回与遥感 1999年第3期20卷 21-26页

作者：李大耀北京空间机电研究所北京100076

给出了一般情况下面阵CCD元件采样信号强度和相机成像调制传递函数的计算公式,并讨论了线阵CCD(作为面阵CCD的特例)相机成像调制传递函数的变化。

关键词： CCD相机调制传递函数成像性能