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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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学科分类号

  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 悬浮分子污染
  • 1 篇 玻璃纤维
  • 1 篇 测试
  • 1 篇 过滤材料

机构

  • 1 篇 hollingsworth&vo...

作者

  • 1 篇 marye.pierce

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=悬浮分子污染"
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排序:
悬浮分子污染的解决方案——一种新颖的玻纤过滤介质
收藏 引用
产业用纺织品 2003年 第1期21卷 33-36页
作者: MaryE.Pierce Hollingsworth&Vose公司
阐述了在半导体生产中悬浮分子污染 (AMC)的来源和测试方法 ,介绍了一种新颖的AMC滤材 。
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