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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 射频磁控溅射
  • 1 篇 pzt铁电薄膜
  • 1 篇 快速热退火处理

机构

  • 1 篇 中国科学院上海技...
  • 1 篇 南昌大学

作者

  • 1 篇 范定寰
  • 1 篇 王震东
  • 1 篇 李新曦
  • 1 篇 钟双英
  • 1 篇 张景基
  • 1 篇 赖珍荃
  • 1 篇 黄志明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=快速热退火处理"
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电极对PZT铁电薄膜的铁电和光学性能的影响
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南昌大学学报（理科版） 2007年 第4期31卷 380-383页
作者： 张景基 赖珍荃 王震东 李新曦 钟双英 范定寰 黄志明 南昌大学材料科学系 江西南昌330031 南昌大学物理学系 江西南昌330031 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083
采用射频磁控溅射(RF Magnetron Sputtering)工艺在Si片上分别制备Pt/Ti和LaNiO3(LNO)底电极,然后在不同的底电极上沉积PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜,在大气环境中对沉积的PZT薄膜进行快速热退火处理(RTA)。用X射线衍射(XRD)分析PZT... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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