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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

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  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 材料科学与工程(可...

主题

  • 2 篇 微金字塔结构
  • 1 篇 纳米压印
  • 1 篇 等效折射率
  • 1 篇 次沟槽
  • 1 篇 飞刀切削
  • 1 篇 单点金刚石车削
  • 1 篇 电感耦合等离子体...
  • 1 篇 切削深度

机构

  • 2 篇 中国科学院光电技...
  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 北京跟踪与通信技...
  • 1 篇 西安工业大学

作者

  • 2 篇 黄岳田
  • 1 篇 杜丹
  • 1 篇 范斌
  • 1 篇 刘卫国
  • 1 篇 周顺
  • 1 篇 葛少博
  • 1 篇 李世杰

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=微金字塔结构"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
薄膜光学微金字塔结构阵列的制备研究
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西安工业大学学报 2019年 第3期39卷 253-259,265页
作者: 葛少博 刘卫国 周顺 李世杰 黄岳田 西安工业大学光电工程学院/陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 西安710021 中国科学院光电技术研究所 成都610209
为了解决薄膜光学结构中等效折射率梯度分布的问题。本文研究了轮廓渐变的薄膜微金字塔结构阵列,分析了微金字塔结构的典型制备工艺,提出了一种单点金刚石车削,结合纳米压印与电感耦合等离子体刻蚀技术的制备方法。实验结果表明:单点... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
金字塔阵列结构的飞刀切削技术研究
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光电工程 2020年 第8期47卷 104-110页
作者: 杜丹 黄岳田 范斌 北京跟踪与通信技术研究所 北京100094 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209 中国科学院大学 北京100049
结构阵列光学元件的加工受到越来越广泛的关注,单点金刚石飞刀切削技术以高效率低成本且加工精度高的优势,逐渐应用于结构的加工。本文主要研究飞刀切削微金字塔结构时,机床重复定位误差和循环加工引入的误差对结构切削效果的影响... 详细信息
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