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主题

  • 1 篇 热压
  • 1 篇 微超声键合
  • 1 篇 聚甲基丙烯酸甲酯...
  • 1 篇 能量引导微结构

机构

  • 1 篇 辽宁省微纳米技术...
  • 1 篇 大连理工大学

作者

  • 1 篇 张彦国
  • 1 篇 罗怡
  • 1 篇 王晓东
  • 1 篇 陶琳
  • 1 篇 张宗波

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微超声键合"
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超声波键合能量引导微结构PMMA基片的制作(英文)
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引用
光学精密工程 2009年 第6期17卷 1373-1378页
作者： 陶琳 罗怡 张彦国 张宗波 王晓东 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 辽宁大连116023 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 辽宁大连116023
为了用超声波键合的方法实现微流控芯片的封装,采用选择性键合方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片的微沟道两侧设计、制作了能量引导微结构,用热压法在同一PMMA基片上一次成形了凸起的能量引导微结构和凹陷的微沟道。用套刻和湿法腐蚀的... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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