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基于柔性衬底的微型换能器技术

基于柔性衬底的微型换能器技术

作者：王艳西北工业大学

学位级别：硕士

柔性MEMS器件具有非常广泛的应用前景。本文以柔性衬底基微型换能器为研究对象，对MEMS柔性衬底技术展开研究，设计研发了气泡型微致动器和柔性触觉传感器。论文阐述了聚酰亚胺基、PDMS基、金属基三种不同柔性衬底基微型换能器的工艺... 详细信息

柔性MEMS器件具有非常广泛的应用前景。本文以柔性衬底基微型换能器为研究对象，对MEMS柔性衬底技术展开研究，设计研发了气泡型微致动器和柔性触觉传感器。论文阐述了聚酰亚胺基、PDMS基、金属基三种不同柔性衬底基微型换能器的工艺实现方法。针对金属基柔性微换能器实现方法，研发了一种用于主动流动控制的气泡型微致动器。设计了微致动器的结构，并对其变形行为进行仿真分析。采用光刻、刻蚀、旋涂等工艺制作了气泡型微致动器。通过对气泡样件的压力载荷-变形行为测试，表明致动器具有较好的线性度和较大承载能力。结合特定翼型的风洞实验，验证微致动器作动可以影响翼型表面的压强分布，从而可用于增升等控制目的。通过对聚酰亚胺基和PDMS基微型换能器的研究，设计了一种柔性开关式微型触觉传感器。对触觉传感器的结构进行了设计，并通过仿真分析研究不同结构尺寸对其变形行为的影响，得到了优化的结构尺寸。按照设计出的传感器结构，提出了两种衬底材料的触觉传感器加工工艺，并采用覆铜聚酰亚胺薄膜制作了微触觉传感器。

关键词：柔性衬底微致动器触觉传感器聚酰亚胺硅橡胶

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微型热致动器研究

半导体技术 2000年第1期25卷 14-18页

作者：杨岳周兆英叶雄英清华大学精密仪器与机械学系北京100084

微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础。本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并进行了理论分析和实验测试。

关键词：微型机械微致动器热致动器硅微细加工

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源于IC、超越IC 微机电技术迈向标准化

电子技术（上海） 2006年第3期33卷 13-18页

作者：卞莲

被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS,结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术,可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置。

关键词：微机电技术标准化 IC 精密机械加工微加工技术 MEMS 制造技术微传感器微致动器微系统

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电流变技术在微型机械系统中的应用研究

机械 2005年第7期32卷 12-15页

作者：许乔丹陈淑梅福州大学机械工程学院福建福州350002

介绍了电流变技术在微型机械系统中的应用,特别介绍了三通口微型电流变阀的结构特点、制造工艺、基本特性,并通过实验模型阐述了这种阀的可行性。

关键词：微型机械微型阀均相电流变材料微加工微致动器

基于MEMS技术的石蜡驱动气体微流量调节阀研究

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节能技术 2019年第5期37卷 471-475页

作者：王丰羽杭观荣王平阳李林上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 上海空间发动机工程技术研究中心上海空间推进研究所上海201112

针对微纳卫星冷气推进系统和空间电推进系统变推力的任务需求,提出一种基于MEMS(微机电系统)技术的相变材料气体微流量调节阀设计方案以实现对推进工质的流量调节。利用MEMS加工工艺制得微致动器和微流量调节阀,通过表面轮廓仪测量微致... 详细信息

针对微纳卫星冷气推进系统和空间电推进系统变推力的任务需求,提出一种基于MEMS(微机电系统)技术的相变材料气体微流量调节阀设计方案以实现对推进工质的流量调节。利用MEMS加工工艺制得微致动器和微流量调节阀,通过表面轮廓仪测量微致动器调节膜片形变特性与输入电流的相互关系,通过间接法测量流经该调节阀的气体质量流量,结果表明:当输入电流小于12 mA,微致动器无明显形变,微阀气体流量无明显变化;当输入电流大于12 mA,微致动器形变明显增加,微阀气体流量显著减小;当输入电流大于48 mA,微致动器形变基本不变,微阀气体流量降至最低,接近关闭状态。因此气体微流量调节阀的有效工作电流区间为12~48 mA。

关键词：流量调节微阀微致动器石蜡微机电系统

美国微机电系统的最新研究成果及其应用(下)

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现代兵器 2002年第5期 34-36页

作者：李豪杰张河都洪基

在引信及环境传感系统中的应用在引信设计中,实现多功能和减小体积一直存在着尖锐的矛盾,而微机电系统技术的发展为缓解这种矛盾带来了机遇。美国武器研究发展工程中心正在开发和鉴定新颖的有高纵横比的微机电组件,它可以用来制造引信... 详细信息

在引信及环境传感系统中的应用在引信设计中,实现多功能和减小体积一直存在着尖锐的矛盾,而微机电系统技术的发展为缓解这种矛盾带来了机遇。美国武器研究发展工程中心正在开发和鉴定新颖的有高纵横比的微机电组件,它可以用来制造引信的保险装置,目前准备用于理想单兵战斗武器系统中的20毫米弹药上;还在开展保险装置的芯片与微能量起爆器集成的研究工作。

关键词：微机电系统引信自适应流体控制微致动器无人战斗机燃料电池连续电池气流分离飞行器美国美利坚合众国北美洲高级研究计划局

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行业风向

消费电子 2013年第23期 92-96页

希捷三星硬盘业务部门最轻薄2TB硬盘存储解决方案11月6日，希捷科技公司宣布由其三星硬盘业务部门研发的全新2．5英寸SpinpointTM M9T硬盘已成功上市。SpinpoinTM M9T厚度仅为9．5毫米，是世界上最为轻薄的2TB硬盘。该产品现提供1．5TB... 详细信息

希捷三星硬盘业务部门最轻薄2TB硬盘存储解决方案11月6日，希捷科技公司宣布由其三星硬盘业务部门研发的全新2．5英寸SpinpointTM M9T硬盘已成功上市。SpinpoinTM M9T厚度仅为9．5毫米，是世界上最为轻薄的2TB硬盘。该产品现提供1．5TB和2TB容量两种规格选择。SpinpointM9T包含一个SATA6Gb／s接口和微致动器，

关键词：希捷科技公司风向行业存储解决方案业务部门微致动器硬盘 s接口