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微纳米加工
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国外科技新书评介 2007年 第11期 19-20页
作者： Mark J．Jackson 周佳 Purdue University USA 中国科学院力学研究所硕士
纳米技术的发展对人类社会产生了巨大的影响。纳米技术在纳米尺度上运作，同时有实际用途。纳米加工作为伴随纳米技术产生的一个新型行业，包括利用原子和分子制成单品进而制作亚微米尺度构件和系统的所有方法。微纳米加工领域的科学家... 详细信息
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微纳米加工技术对La2/3Ca1/3MnO3材料性能影响的研究
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低温物理学报 2012年 第2期34卷 101-104页
作者： 伍展文 李洁 阳运国 黎松林 郑东宁 广东电网公司中山供电局试验研究所 中国科学院物理研究所超导国家重点实验室
利用脉冲激光沉积(PLD)方法制备了La2/3Ca1/3MnO3(LCMO)外延薄膜.然后利用微纳米加工技术对LCMO薄膜材料进行了局部改造,制造出宽度仅为83纳米的弱联接结构,并对此进行了一系列的物性改变研究.发现在测量电流不变(1μA)的情况下,R～T曲... 详细信息
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微纳米加工技术及其应用综述
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物理 2006年 第1期35卷 34-39页
作者： 崔铮 英国卢瑟福国家实验室微结构中心
材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征,纳米技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一.微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件,实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术.文章对微纳米加工技... 详细信息
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微纳米加工技术
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国外科技新书评介 2008年 第9期 6-7页
作者： Mark J. Jackson 程恩隽 不详 国家纳米科学中心博士生
无论是集成电路技术，还是微系统技术或纳米技术，其共同特征是功能结构的尺寸在微米或纳米范围，因此可以统称为微纳米技术。功能结构的微纳米化带来的不仅仅是能源与原材料的节省，而且导致多功能的高度集成和生产成本的大大降低。微... 详细信息
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微纳米加工与检测技术进展
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三明学院学报 2006年 第2期23卷 121-123页
作者： 郭隐彪 洪策符 厦门大学机电工程系 福建厦门361005
微纳米加工技术是一个新兴的综合性的制造技术,有良好的应用前景。本文分析了微纳米加工技术(M4)的应用领域及前景,介绍了各种微纳米加工技术及其与传统制造技术的对比,介绍了运用M4技术加工的一些产品零件及其误差,并介绍微纳米检测技... 详细信息
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微纳米加工技术研究获新进展
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功能材料信息 2015年 第3期12卷 56-57页
壁虎能爬墙是因为脚掌微纤毛与墙壁接触时产生的黏附力，孔雀羽毛五彩斑斓是因为表面不同的微纤毛反射不同波长的自然光……然而，由于现有微纳米加工手段的缺陷，人类至今还很难有效制备出如此微小尺度的仿生功能结构和器件。
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自组装胶体晶体在微纳米加工中的应用
自组装胶体晶体在微纳米加工中的应用
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中国化学会第27届学术年会
作者： 严清峰 余洁 沈德忠 清华大学化学系 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
＜正＞尺寸在亚微米或纳米级别的单分散胶体微球,在一定条件下可以通过化学自组装形成二维或三维的有序结构,通常被称为胶体晶体。随着化学自组装技术的不断成熟,胶体晶体
来源： cnki会议 评论
微纳米加工技术研究获新进展
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纳米科技 2015年 第4期12卷 86-86页
壁虎能爬墙是因为脚掌微纤毛与墙壁接触时产生的黏附力,孔雀羽毛五彩斑斓是因为表面不同的微纤毛反射不同波长的自然光……然而,由于现有微纳米加工手段的缺陷,人类至今还很难有效制备出如此微小尺度的仿生功能结构和器件.中国科学技术... 详细信息
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厦门大学微纳米加工与检测技术联合实验室简介
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机械工程学报 2009年 第11期45卷 294-页
"微纳米加工与检测技术联合实验室"由厦门大学和中国工程物理研究院成都光学精密工程中心2005年联合建立。实验室拥有福建省"微纳米加工与检测"创新团队,实验室负责人郭隐彪教授。实验室已形成一支优秀的科研团队。
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利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构
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传感技术学报 2006年 第5A期19卷 1451-1454页
作者： 闫永达 孙涛 董申 哈尔滨工业大学机电学院 哈尔滨150001
为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐... 详细信息
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