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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 精密工件台
  • 1 篇 微纳操作臂
  • 1 篇 微纳尺度操作
  • 1 篇 sem

机构

  • 1 篇 中国科学院电工研...
  • 1 篇 中国科学院研究生...

作者

  • 1 篇 李勇滔
  • 1 篇 韩立
  • 1 篇 刘俊标
  • 1 篇 殷伯华
  • 1 篇 吴震

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微纳操作臂"
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微纳尺度操作的系统设计
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现代科学仪器 2009年 第4期26卷 18-20,24页
作者： 李勇滔 韩立 殷伯华 吴震 刘俊标 中国科学院电工研究所 北京100190 中国科学院研究生院 北京100049
微纳尺度操作是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向。为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的操纵,设计了一种基于SEM的微纳操作系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构和计算机系统组成,采... 详细信息
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