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中国机械工程 2003年第12期14卷 1004-1006页

作者：贾书海李以贵杨春生赵小林丁桂甫张琛蔡炳初上海交通大学微纳米科学与技术研究院上海市200030

设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采... 详细信息

设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置。这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中。

关键词：微机电系统微电磁驱动器微细加工光开关

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新型微机电系统光开关研制

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上海交通大学学报 2003年第9期37卷 1468-1471页

作者：贾书海赵小林杨春生张琛蔡炳初冯建智上海交通大学微纳米技术研究院上海200030

介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关可广泛应用于光纤... 详细信息

介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关可广泛应用于光纤通信系统.

关键词：光纤通信光开关微机电系统微电磁驱动器

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基于双面反射镜的N×N光开关的特性分析和实验研究

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中国激光 2007年第2期34卷 234-238页

作者：董作人夏志平秦世博陈高庭瞿荣辉方祖捷中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800

报道了基于双面反射镜的N×N光开关器件。介绍了使用双面反射镜的2×2,4×4光开关的集成光路设计和工作原理;采用Benes网络,以2×2和4×4光开关为基本单元的N×N光开关器件的整体结构,并根据“一笔画”原理,分析了4×4,8×8和16×16光... 详细信息

报道了基于双面反射镜的N×N光开关器件。介绍了使用双面反射镜的2×2,4×4光开关的集成光路设计和工作原理;采用Benes网络,以2×2和4×4光开关为基本单元的N×N光开关器件的整体结构,并根据“一笔画”原理,分析了4×4,8×8和16×16光开关矩阵的可重排无阻塞特性和光开关矩阵的光路选择算法。最后,基于2×2,4×4光开关技术制备了16×16光开关矩阵。测试表明,该器件具有良好的插入损耗、回波损耗、串扰和开关时间等性能,从而验证了设计思想和工艺的可行性。在基于双面反射镜的光开关矩阵中,双面反射镜的使用大大减少了光开关矩阵中运动镜片的数量,简化了控制程序,并有利于提升光开关器件的可靠性能,有望在中小型光交换机、网络管理和光路测量中获得应用。

关键词：光通信 N×N机械光开关双面反射镜无阻塞微电磁驱动器

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可集成制造的平面型电磁直线作动器研究

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半导体光电 2022年第6期43卷 1092-1098页

作者：武强管伟昌戴旭涵王怀治高宇帆丁桂甫上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学先进电子材料与器件平台

电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势,在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用,但受限于体积大、制造工艺复杂,难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求。针对上述问题,应用平面型集成线圈及高深宽比微... 详细信息

电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势,在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用,但受限于体积大、制造工艺复杂,难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求。针对上述问题,应用平面型集成线圈及高深宽比微结构设计,制造了一种微型化电磁作动器的原型样机,初步测试结果表明,器件的输出力可达毫牛量级,输出位移大于50μm,响应时间小于10 ms,为进一步开展相关器件研究探明了可行的技术路径。

关键词：微电磁驱动器微线圈集成制造

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端面摇摆式微型电机研究

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光学精密工程 1999年第4期7卷 76-80页

作者：梁静秋姚劲松中国科学院长春光学精密机械研究所长春130022

提出了一种低速大力矩的微型电磁电机———端面摇摆式微型电磁电机。其工作原理为：在旋转电磁力的作用下，电机锥形转子在定子的内锥面上作纯滚动，从而产生输出轴的转动。我们采用精密机械的精细加工技术制作了外径为Φ５ｍｍ电... 详细信息

提出了一种低速大力矩的微型电磁电机———端面摇摆式微型电磁电机。其工作原理为：在旋转电磁力的作用下，电机锥形转子在定子的内锥面上作纯滚动，从而产生输出轴的转动。我们采用精密机械的精细加工技术制作了外径为Φ５ｍｍ电机样机。经测试，其转速范围为２０－８６０ｒ／ｍｉｎ，扭矩输出大于１０μ Ｎｍ。实验结果表明，这种微型电机在相同的输入功率下，比同体积的其他电机有更大的力矩输出，因此具有广泛的应用前景。

关键词：端面摇摆微型电磁电机微电磁驱动器

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