检索结果-南通市图书馆

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浅谈MEMS技术——(微电子机械系统)

汽车维修与保养 2002年第9期 49-50页

作者： Mike Dale 魏巍

MEMS(微电子机械系统)技术为我们带来了具有传感和执行功能的电子器件,它们的价格更为便宜,技术更为成熟。

关键词： MEMS技术微电子机械系统汽车传感器

小型化硅基毫米波MEMS三维异构集成开关滤波器件

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固体电子学研究与进展 2021年第5期41卷 330-336页

作者：侯芳孙超栾华凯黄旼朱健胡三明东南大学毫米波国家重点实验室南京210096 南京电子器件研究所南京210016 微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室南京210016

针对传统开关滤波器组件体积庞大、重量重、调试复杂、集成度低的问题,设计并制作了一种小型化六通道毫米波硅基MEMS三维异构集成开关滤波器件。该器件以四层堆叠的高阻硅材料为衬底,工作频段覆盖18~40 GHz,内部集成了6款小型化空间堆叠... 详细信息

针对传统开关滤波器组件体积庞大、重量重、调试复杂、集成度低的问题,设计并制作了一种小型化六通道毫米波硅基MEMS三维异构集成开关滤波器件。该器件以四层堆叠的高阻硅材料为衬底,工作频段覆盖18~40 GHz,内部集成了6款小型化空间堆叠的MEMS滤波器和2个单片开关,采用3D-TSV(硅通孔)异构集成工艺,实现了开关与滤波器组的晶圆级集成。为了优化毫米波频段集成滤波器性能,提出了MEMS混合交叉耦合多层堆叠SIW(基片集成波导)滤波器拓扑结构,且其工艺与整个开关滤波器件兼容,极大提升了滤波器的带外抑制。经测试,该开关滤波器件带内插损10 dB,带边1 GHz处带外抑制>40 dBc。该器件体积仅19.0 mm×16.5 mm×1.1 mm,比传统开关滤波器体积减小了99.7%。

关键词：三维异构集成微电子机械系统硅通孔滤波器基片集成波导

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MEMS技术中的电镀工艺及其应用

遥测遥控 2022年第1期43卷 29-40页

作者：赵广宏薛彦鹏汪郁东尹玉刚陈青松李军北京遥测技术研究所北京100094 北京科技大学北京100083

电镀已经成为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术中的一种重要加工手段,相比于传统意义的表面处理作用,MEMS技术中的电镀主要用于制作微结构。介绍了几种常用的以电镀为核心方法的微结构加工工艺和它们的应用领域。微结构加工... 详细信息

电镀已经成为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术中的一种重要加工手段,相比于传统意义的表面处理作用,MEMS技术中的电镀主要用于制作微结构。介绍了几种常用的以电镀为核心方法的微结构加工工艺和它们的应用领域。微结构加工工艺包括LIGA/UV-LIGA、EFAB、PolyStrata、TSV/TGV、MetalMUMPs等,结合设计好的光刻、镀膜、刻蚀等辅助微工艺技术,能够完成具有超高深宽比、多层堆叠、悬空、可动等特点的复杂三维金属微结构,并针对不同的使用需求,可以实现典型的微机械结构、惯性传感器、射频器件、异构集成、系统散热等功能应用,具有广泛的实用意义。

关键词：微电子机械系统电镀工艺微结构

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航天器微型化的新突破──微电子机械系统

中国航天 1996年第10期 22-25页

作者：朱毅麟

航天器微型化的新突破──微电子机械系统朱毅麟近年来，由于微电子技术的迅速发展，航天器使用的电子部件和系统早已告别了分立元器件的时代，用上了集成电路，甚至大规模集成电路。空间电子系统不仅实现了小型化、微型化，而且正在向... 详细信息

航天器微型化的新突破──微电子机械系统朱毅麟近年来，由于微电子技术的迅速发展，航天器使用的电子部件和系统早已告别了分立元器件的时代，用上了集成电路，甚至大规模集成电路。空间电子系统不仅实现了小型化、微型化，而且正在向着商业化迈进。有了这样的基础，国外...

关键词：微电子机械系统航天器

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射频微电子机械系统的发展与展望

半导体情报 2001年第4期38卷 1-9页

作者：袁明文河北半导体所河北石家庄050051

介绍了射频微电子机械系统 ( RF MEMS)的最新进展、研究内容及应用前景。该系统装置包括开关、继电器、电容器、电感器、滤波器及微波和毫米波元件。

关键词：射频微电子机械系统电子元件

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微机械加速度计的温漂性能研究综述

固体电子学研究与进展 2015年第6期35卷 565-571页

作者：张霞西安邮电大学电子工程学院西安710100

温度是影响微机械加速度计性能指标、限制其应用领域的关键因素之一。在简要介绍微机械加速度计发展现状及温度对其影响机理的基础上,对近年来在降低微机械加速度计温漂方面国内外研究机构所采取的主要研究方法进行了详细的阐述,为该研... 详细信息

温度是影响微机械加速度计性能指标、限制其应用领域的关键因素之一。在简要介绍微机械加速度计发展现状及温度对其影响机理的基础上,对近年来在降低微机械加速度计温漂方面国内外研究机构所采取的主要研究方法进行了详细的阐述,为该研究领域的推进提供了参考。

关键词：微电子机械系统加速度计温漂

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微电子机械系统的发展及未来

光电子技术 2000年第1期20卷 27-33页

作者：乔希竹南京电子器件研究所南京210016

介绍了微电子机械系统（MEMS）的技术、材料、器件及应用，讨论了它的发展趋势及将来的市场。

关键词：微电子机械系统微型化多样化微电子集成

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氯苯检测用微纳气体传感器研究

氯苯检测用微纳气体传感器研究

作者：陈陆丽上海师范大学

学位级别：硕士

氯苯作为众多苯系物反应的中间体以及溶剂,在化工、医疗等领域都有广泛的应用。氯苯气体在环境中不易消散且具有高毒性,已经被环境保护机构列为危险废物、优先有毒污染物和致癌物,一旦泄露将会对我们的生命造成很大的伤害。在空气中,允... 详细信息

氯苯作为众多苯系物反应的中间体以及溶剂,在化工、医疗等领域都有广泛的应用。氯苯气体在环境中不易消散且具有高毒性,已经被环境保护机构列为危险废物、优先有毒污染物和致癌物,一旦泄露将会对我们的生命造成很大的伤害。在空气中,允许氯苯气体暴露的安全浓度为75 ppm,当气体浓度超过2400 ppm,短时间内就会危及生命。由于它的毒性,对在低浓度的环境下检测氯苯气体显得尤为重要。传统的氯苯分析方法是气相色谱法,但这种方法检测周期长、费用昂贵,不能满足对环境监测的快速、低成本、便携的现场应用。由于微机械具有体积小、重量轻、性能稳定、响应快且灵敏度高等优点,应用于氯苯气体传感器中可以发挥重要的作用。目前,关于检测氯苯的气体传感器的相关报道仍然很少。这可能是由于氯苯气体的化学特性相对稳定,传统的气体传感器在检测氯苯时响应低和选择性比较差。本论文的主要工作是在微机械加工技术上制造了微加热平台并优化了微型加热器的图案,对不同形貌的微加热器进行测试和性能研究;研究了修饰不同的半导体金属敏感材料对氯苯传感器的应用,并对敏感特性进行了研究。通过对微型加热器图案的优化,气体传感器的30 mW功耗下可以达到220°C高温,实现了一种对气体传感器优化设计。通过COMSOL对加热丝在205°C到240°C其进行仿真验证,发现器件的温度均一性较好,在该温度范围内的有效面积可以达到58%。通过水热法合成ZnFeO纳米敏感材料,滴涂修饰在基于MEMS的微型加热器上,制备一种超高灵敏的半导体金属氧化物气体传感器。研究表明,ZnFeO纳米敏感材料对氯苯气体的最适温度为220°C。同时实现了从500 ppb到10 ppm浓度的氯苯气体检测,该传感器的检测限为500 ppb。通过氧离子陷阱势垒模型,解释了ZnFeO纳米材料对氯苯气体的响应机理。通过水热法合成ZnO纳米材料并修饰在微型加热器上,实现了对基于ZnO纳米材料氯苯气体传感器的制备。研究表明,ZnO材料在氯苯气氛下的最适温度为257°C。通过从微量浓度200 ppb的氯苯到10 ppm级别氯苯气体检测,发现该氯苯气体传感器的LOD在200 ppb级别。通过吸附氧原理,解释了ZnO纳米材料与氯苯气体接触时电阻变化。本课题通过将纳米材料与加热器相结合,实现了一种低功耗、高选择性和高响应的金属氧化物气体传感器。这种传感器相较于传统的陶瓷传感器具有功耗需求低、易于集成和便于携带等优点,将为进一步发展高性能的气体传感器提供思路。

关键词：微电子机械系统微加热器平台气体传感器半导体金属氧化物

蚌埠市智能传感产业发展的现状、问题及提升建议

同方学位论文库评论

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安徽科技 2024年第3期 18-21页

作者：李远蚌埠市科技创新服务中心

《安徽省“十四五”制造业高质量发展(制造强省建设)规划》中明确提出,要推动蚌埠“中国传感谷”微电子机械系统(micro-electro mechanical system,MEMS)核心器件产业园及其他地市云计算、大数据产业等发展壮大,逐步形成以合肥“中国声... 详细信息

《安徽省“十四五”制造业高质量发展(制造强省建设)规划》中明确提出,要推动蚌埠“中国传感谷”微电子机械系统(micro-electro mechanical system,MEMS)核心器件产业园及其他地市云计算、大数据产业等发展壮大,逐步形成以合肥“中国声谷”为核心,芜湖“中国视谷”与蚌埠“中国传感谷”三谷共振的省市县一体化推进发展格局。蚌埠市进一步聚焦智能传感产业集群,抢抓智能传感市场需求爆发增长、技术创新高度活跃的战略机遇期,以中国传感谷为产业发展重要抓手,依托中国兵器工业集团第214研究所(以下简称214所)的技术优势和产业实力,重点支持智能汽车、工业智能测控、智慧城市、智能穿戴四大应用领域,打造公共技术服务、晶圆代工制造两大支撑平台,持续提升产业创新能力,快速增强产业实力。

关键词：产业实力产业集群微电子机械系统提升建议智能穿戴智能测控晶圆代工智能汽车