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嵌入MEMS微流道的硅转接基板键合工艺研究

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电子产品可靠性与环境试验 2022年第2期40卷 67-75页

作者：李奇哲朱家昌夏晨辉王刚中国电子科技集团公司第五十八研究所江苏无锡214035 中国电子科技集团公司第五十八研究所封装事业部江苏无锡214035

以嵌入MEMS微流道的硅转接基板为研究对象,对影响微流道结构键合的回流工艺参数进行了研究,解决了微流道结构键合强度等问题。其中,探讨了助焊剂或RF等离子、回流时间、回流炉温区个数和压力等因素对回流后微流道结构性能的影响。研究表... 详细信息

以嵌入MEMS微流道的硅转接基板为研究对象,对影响微流道结构键合的回流工艺参数进行了研究,解决了微流道结构键合强度等问题。其中,探讨了助焊剂或RF等离子、回流时间、回流炉温区个数和压力等因素对回流后微流道结构性能的影响。研究表明:对待回流样件进行RF等离子处理,并在盖板上施加0.22N压力后,采用100s回流时间;在10温区的回流炉中完成回流后,其焊接质量达到最优,平均焊接强度值为14.83kg;并且边缘焊接完整,可以满足微流道结构完全密封的要求,因而不会发生液体泄漏、微流道结构变形和堵塞等问题。

关键词：微流道回流焊 RF等离子回流时间回流温区

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大功率微系统的微流道结构散热特性研究

电子产品可靠性与环境试验 2020年第6期38卷 19-23页

作者：朱家昌张振越郭鑫李杨中国电子科技集团公司第五十八研究所江苏无锡214035

以大功率微系统为研究对象,开展了微流道结构的散热特性研究,以解决大功率微系统的高效热管理问题。首先,探讨了直线型、折线型、S型和梯型等4种不同的微流道结构对微系统散热效果的影响;然后,分析了微流道数目、宽度和高度对微流道结... 详细信息

以大功率微系统为研究对象,开展了微流道结构的散热特性研究,以解决大功率微系统的高效热管理问题。首先,探讨了直线型、折线型、S型和梯型等4种不同的微流道结构对微系统散热效果的影响;然后,分析了微流道数目、宽度和高度对微流道结构传热性能的影响。研究表明,S型微流道对扇出型微系统的散热效果优于其他微流道结构,综合考虑大功率微系统内最高温度和微流道内压降,在保持冷却流体流量为10 cm^3/s不变的情况下,S型微流道数目为60,宽度为60μm,高度为250μm时达到最优散热效果,最高散热功率密度超过800 W/cm^2。

关键词：微系统微流道散热特性功率密度

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重力场流分离实验微流道设计

工程与试验 2012年第1期52卷 67-70页

作者：邵丽颖蒋东霖吕雪燕范晓望马伟魏仁杰空军航空大学航空机械工程系吉林长春130022 长春机械科学研究院有限公司吉林长春130012

应用计算流体力学软件对不同形状重力场流分离微流道进行了内部流场的模拟计算和比较,分析总结了各种形状微流道内部流场的模拟结果,得出了重力场流分离微流道的优化设计参数。

关键词：重力场流分离微流道 CFD 设计

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YAG雷射技术制备微流道的研究

德宏师范高等专科学校学报 2018年第2期27卷 119-124页

作者：周小薇黄冈职业技术学院

用YAG雷射表面处理技术在硅芯片上制备微流道,并分析频率、电流强度及扫描速度对于微流道宽度、深度、热影响区及表面粗糙度之影响。实验结果显示：光斑大小随着频率的增加而减少,但却随着电流强度的增加而增加;微流道宽度则直接决定于... 详细信息

用YAG雷射表面处理技术在硅芯片上制备微流道,并分析频率、电流强度及扫描速度对于微流道宽度、深度、热影响区及表面粗糙度之影响。实验结果显示：光斑大小随着频率的增加而减少,但却随着电流强度的增加而增加;微流道宽度则直接决定于光斑之大小;微流道深度及表面粗糙度皆受到频率、电流强度及扫描速度三种制程参数影响;而微流道热影响区在各制程参数下,其影响的变化差异并不明显。研究中当扫描速度10mm/s、电度10A及频率1KHz为最佳制程参数。

关键词： YAG雷射微流道制程参数硅芯片

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声表面波驱动颗粒在微流道中的聚集研究

信息系统工程 2020年第1期33卷 67-68页

作者：徐昀通湖北工业大学

声表面波具有能量集中,易于结合,非直接接触等性能优势。论文详细阐述了金属叉指换能器激励声表面波的工作原理:先运用光刻技术制作出可激发声表面波的金属叉指换能器,再在MEMS技术的基础上用浇铸模塑法制作出PDMS流道,设计并制造出在... 详细信息

声表面波具有能量集中,易于结合,非直接接触等性能优势。论文详细阐述了金属叉指换能器激励声表面波的工作原理:先运用光刻技术制作出可激发声表面波的金属叉指换能器,再在MEMS技术的基础上用浇铸模塑法制作出PDMS流道,设计并制造出在压电材料铌酸锂基底上集成声表面波叉指换能器和微流道的芯片结构,最后进行试验观测以检验工作效果,完成颗粒在微流道中的聚集的工作。结果表明,声表面波可以有效地驱动颗粒在微流道中进行聚集的操作,从而验证了开发微流控系统开发的可行性。

关键词：声表面波微流道叉指换能器

一种穿通/传导冷却LRM模块混装的微流道液冷冷板设计

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环境技术 2022年第2期40卷 188-191页

作者：孙其英中国电子科技集团公司第十研究所成都610036

随着航空机载电子产品功能的高度集成,高换热性能的冷板设计成为液冷电子产品热控设计的关键技术之一。微流道的引入可以有效提高液冷冷板的换热效率,针对传导冷却模块和穿通冷却模块不同的散热需求,微流道冷板的分汇流设计需综合考虑... 详细信息

随着航空机载电子产品功能的高度集成,高换热性能的冷板设计成为液冷电子产品热控设计的关键技术之一。微流道的引入可以有效提高液冷冷板的换热效率,针对传导冷却模块和穿通冷却模块不同的散热需求,微流道冷板的分汇流设计需综合考虑流阻匹配和流量分配等要素。通过仿真计算和试验检测验证了该设计形式冷板的换热能力和工程应用的可靠性。

关键词：穿通冷却传导冷却微流道液冷冷板