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文献类型

  • 2 篇 期刊文献
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日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 化学

主题

  • 3 篇 微波pcvd
  • 1 篇 金刚石膜
  • 1 篇 碳钢基体
  • 1 篇 红外透过率
  • 1 篇 光学和热学性质
  • 1 篇 透明金刚石膜
  • 1 篇 透明自支撑金刚石...
  • 1 篇 氮杂质

机构

  • 2 篇 吉林大学
  • 1 篇 哈尔滨理工大学

作者

  • 2 篇 韩柏
  • 1 篇 春声
  • 1 篇 汪剑波
  • 1 篇 吕宪义
  • 1 篇 李博
  • 1 篇 李红东
  • 1 篇 金曾孙

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=微波PCVD"
3 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
微波pcvd法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率(英文)
收藏 引用
新型炭材料 2008年 第3期23卷 245-249页
作者: 李博 韩柏 吕宪义 李红东 汪剑波 金曾孙 吉林大学超硬材料国家重点实验室 吉林长春130012 哈尔滨理工大学电气与电子工程学院 黑龙江哈尔滨150040
采用微波pcvd方法制备出直径50mm膜厚300μm的大尺寸透明自支撑金刚石膜。在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1μm/h^2μm/h。在... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
微波pcvd法高品质透明金刚石膜的制备和性质研究
微波PCVD法高品质透明金刚石膜的制备和性质研究
收藏 引用
作者: 韩柏 吉林大学
学位级别:硕士
微波pcvd法是一种快速沉积高质量透明金刚石膜的理想方法。本文研究了微波pcvd法制备金刚石膜中甲烷浓度、微波功率以及氧气等对金刚石膜沉积和质量的影响,得到高品质透明金刚石膜的工艺条件,制备出均匀的透明金刚石厚膜。 红外-紫外光... 详细信息
来源: 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
微波pcvd在碳钢基体上合成金刚石膜
收藏 引用
等离子体应用技术快报 1997年 第11期 8-9页
作者: 春声
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论