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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 微波带片
  • 1 篇 菲涅耳波带片
  • 1 篇 x射线光刻
  • 1 篇 电子束

机构

  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 中国科学院微电子...

作者

  • 1 篇 谢常青
  • 1 篇 叶甜春
  • 1 篇 曹磊峰
  • 1 篇 王德强

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微波带片"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片
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引用
Journal of Semiconductors 2006年 第6期27卷 1147-1150页
作者： 王德强 曹磊峰 谢常青 叶甜春 中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室 北京100029 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 绵阳621900
在硅为衬底材料的自支撑氮化硅薄膜上,采用阴阳图形互换转移技术,先使用电子束直写方法制作成功了最外环为150nm的阳图形微波带片,然后用同步辐射X射线光刻技术复制成功了最外环为150nm的阴图形微波带片,得到可以应用于ICF诊断技术中的... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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