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声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量

科技与创新 2022年第18期 68-70页

作者：陈建丽广东科学技术职业学院机器人学院广东珠海519090

为从根本上保障微机械构件生产质量,应做好微机械材料检测工作,判断材料内各项性能,优化材料生产工艺。现阶段声激励共振法是微机械材料的主要测量方式,该技术应用效果可直接影响到微机械材料应用水平,需要基于微机械材料杨氏模量测量方... 详细信息

为从根本上保障微机械构件生产质量,应做好微机械材料检测工作,判断材料内各项性能,优化材料生产工艺。现阶段声激励共振法是微机械材料的主要测量方式,该技术应用效果可直接影响到微机械材料应用水平,需要基于微机械材料杨氏模量测量方式,对比分析静态应变测量与静电激励共振测量方法的缺点。基于此,以声激励共振法测量微机械材料为切入点,对比分析静态应变测量与静电激励共振测量方式,提出声激励共振法测量在微机械材料中的具体应用流程以及应用实验结果,以供参考。

关键词：声激励共振法测量微机械材料杨氏模量

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声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量

声学技术 2000年第4期19卷 187-189页

作者：顾利忠左铭旺苏菲清华大学自动化系北京100084

微机械材料的杨氏模量测量是随着微机械构件的产生而提出的一项新技术。文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法。提出了用声激励共振法来测量微机械材料的杨氏模量。这种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点。

关键词：杨氏模量声激励微机械材料声激励共振法

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用瞬态激振法测量微机械材料的弹性模量

清华大学学报（自然科学版） 2001年第9期41卷 126-128页

作者：顾利忠苏菲赵颉张以恒清华大学自动化系北京100084

利用蚀刻硅技术制造的微机械构件 ,由于其特殊的制作过程需要对其材料的机械性能如弹性模量等进行测试。文章综述了已有的微机械材料弹性模量测试方法。在此基础上 ,提出了用瞬态激振法来测量微机械材料的弹性模量的方法 ,这种方法把微... 详细信息

利用蚀刻硅技术制造的微机械构件 ,由于其特殊的制作过程需要对其材料的机械性能如弹性模量等进行测试。文章综述了已有的微机械材料弹性模量测试方法。在此基础上 ,提出了用瞬态激振法来测量微机械材料的弹性模量的方法 ,这种方法把微机械构件做成悬臂梁 ,通过对悬臂梁进行瞬态碰击激励并使之产生一个短暂的振荡。然后求得振荡趋于稳定时的频率 ,这就是悬臂梁的固有谐振频率。再通过计算公式求出微机械材料的弹性模量。这种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点。

关键词：瞬态激振微机械材料悬臂梁弹性模量

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典型微机械材料的准分子激光加工特性

航空制造技术 2000年第2期43卷 26-27,39页

作者：李晓莹马炳和苑伟政西北工业大学

针对硅、聚合物和工程陶瓷等典型微机械材料 ,采用KrF准分子激光对其进行了加工技术研究 ,分析了加工规律。

关键词：微机械材料单晶硅 PMMA 陶瓷准分子激光加工

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基于静电激振法测量微机械材料的杨氏模量

新型工业化 2018年第6期8卷 41-44页

作者：苑东明周口市高级技工学校河南周口466000

通过对现阶段制造行业的发展现状进行分析时可以看出,蚀刻硅技术已经能够在实践中得到广泛应用,并且在其本身的作用下制造出来的微机械构件具有非常良好的质量和效果。但是由于其本身在制作过程中具有一定的特殊性和复杂性,所以需要对... 详细信息

通过对现阶段制造行业的发展现状进行分析时可以看出,蚀刻硅技术已经能够在实践中得到广泛应用,并且在其本身的作用下制造出来的微机械构件具有非常良好的质量和效果。但是由于其本身在制作过程中具有一定的特殊性和复杂性,所以需要对材料本身的机械性能进行深入研究,比如对其本身的杨氏模量等性能进行测量分析后,才能达到更优化的性能。因此本文利用静电激振法对微机械材料的杨氏模量进行测量,为其本身的性能应用提供有效的依据支持。

关键词：静电激振法测量微机械材料杨氏模量