检索结果-南通市图书馆

电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

固体电子学研究与进展 2003年第4期23卷 504-507,519页

作者：韩建强朱长纯刘君华魏培永西安交通大学电信学院西安710049

制作了电热激励硅 /二氧化硅双层微悬臂梁谐振器。对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明 :减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度 ,可增大微悬臂梁谐振器输出电压 ;输出电压随激励功率增加而增大 ;谐振器输出电压与谐振器根部压敏电... 详细信息

制作了电热激励硅 /二氧化硅双层微悬臂梁谐振器。对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明 :减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度 ,可增大微悬臂梁谐振器输出电压 ;输出电压随激励功率增加而增大 ;谐振器输出电压与谐振器根部压敏电桥电源电压成正比。

关键词：电热激励微悬臂梁谐振器输出电压压敏电桥硅微机械谐振式传感器

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

基于光学相干测振系统的微悬臂梁缺陷检测

应用光学 2021年第2期42卷 304-309页

作者：贾美英钟舜聪周宁林杰文张秋坤福州大学机械工程及自动化学院福建福州350108 福州大学医疗器械和医药技术重点实验室福建福州350108

提出了基于光学相干测振(optical coherence vibrometer,OCV)系统的微悬臂梁缺陷检测方法。自搭建的OCV系统最大振动位移量程、最大振动频率分别为2.574 mm和138.5 kHz,应用该系统对含缺陷微悬臂梁-附加质量块耦合结构进行振动测量获得... 详细信息

提出了基于光学相干测振(optical coherence vibrometer,OCV)系统的微悬臂梁缺陷检测方法。自搭建的OCV系统最大振动位移量程、最大振动频率分别为2.574 mm和138.5 kHz,应用该系统对含缺陷微悬臂梁-附加质量块耦合结构进行振动测量获得其固有频率,并利用附加质量块对固有频率的影响特性实现了对缺陷的定位。在对系统采集到的干涉光谱信号处理的过程中,采用FFT(fast Fourier transform,FFT)+FT(Fourier transform,FT)细化频谱校正算法进行误差校正,精度可提高1000倍以上,使系统实现纳米量级的位移测量。实验结果表明,该方法能够有效识别微悬臂梁的缺陷位置,为微小型结构的缺陷检测提供了一种新的方法,同时拓展了光学相干测振技术在工程结构无损检测的应用。

关键词：光学相干测振微悬臂梁缺陷检测频谱校正附加质量

用于微等离子体无掩膜刻蚀的微悬臂梁探针的设计和加工

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

纳米技术与精密工程 2011年第3期9卷 275-278页

作者：文莉向伟玮张秋萍王海何利文褚家如中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥230027 安徽工程大学机械工程系芜湖241000

设计了一种用于微等离子体无掩膜刻蚀加工的微悬臂梁探针结构,即将微等离子体放电器集成在SiO2悬臂梁探针端部的空心针尖上,等离子体从针尖处的纳米孔导出,以实现高精度、高效率的无掩膜扫描刻蚀加工.设计了该悬臂梁探针的加工工艺流程... 详细信息

设计了一种用于微等离子体无掩膜刻蚀加工的微悬臂梁探针结构,即将微等离子体放电器集成在SiO2悬臂梁探针端部的空心针尖上,等离子体从针尖处的纳米孔导出,以实现高精度、高效率的无掩膜扫描刻蚀加工.设计了该悬臂梁探针的加工工艺流程,即对(100)硅片进行各向异性湿法刻蚀得到倒金字塔槽,并双面氧化,然后依次沉积并图形化微放电器的上、下电极和绝缘层,最后背面释放出带空心针尖的SiO2悬臂梁,并加工出针尖尖端的纳米孔.成功制作出质量良好、具有很高成品率的带薄壁空心针尖的SiO2悬臂梁探针阵列及倒金字塔型微放电器.实验结果表明,该微放电器能在3～15 kPa的SF6气体中稳定放电,为悬臂梁探针阵列和微放电器的工艺集成以及Si基材料的无掩膜扫描刻蚀加工奠定基础.

关键词：微等离子体微悬臂梁空心针尖无掩膜刻蚀

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

微悬臂梁质量传感器测量原理的有限元分析

微悬臂梁质量传感器测量原理的有限元分析

作者：周韬华中科技大学

学位级别：硕士

微悬臂梁是MEMS（微机电系统）器件中较典型的结构，常用作传感器和执行器。它具有灵敏度高，体积小，成本低等优点，在质量检测领域受到了越来越多的关注。本文以微悬臂梁质量传感器为研究对象，根据微悬臂梁因粘附物体产生固有频率... 详细信息

微悬臂梁是MEMS（微机电系统）器件中较典型的结构，常用作传感器和执行器。它具有灵敏度高，体积小，成本低等优点，在质量检测领域受到了越来越多的关注。本文以微悬臂梁质量传感器为研究对象，根据微悬臂梁因粘附物体产生固有频率改变这一特性，提出了一种根据固有频率变化值对粘附物的位置和质量反求的方法。该方法具体来说是通过建立微悬臂梁质量传感器的有限元模型，编写相应的算法程序，进而完成对粘附物位置和质量的反求，最终实现了对微悬臂梁上粘附物质的测量。本文主要完成了以下研究工作：（1）建立了微悬臂梁振动特性的解析模型和有限元模型，并得到了微悬臂梁固有频率的有限元求解结果;通过对有限元求解结果与解析结果及实验结果的分析比较，验证了有限元求解方法的可行性;（2）定义了微悬臂梁上的粘附物质量和位置的反求问题，编写了求解反求问题的算法程序;（3）分析了反求问题算法的求解结果，验证了所编写算法的正确性，发现悬臂梁不同区域对粘附物的敏感度不同。总而言之，本文的研究内容和研究方法对以后理论研究和实际应用都具有一定的意义。

关键词：微悬臂梁粘附物有限元测量原理

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

高冲击下微悬臂梁动态响应特性

探测与控制学报 2016年第6期38卷 20-25页

作者：尹立威聂伟荣席占稳周织建南京理工大学机械工程学院江苏南京210094

针对高冲击下微构件动态响应特性的经典理论值与实验结果存在较大误差的问题,提出了高冲击下微悬臂梁尺寸效应模型并分析了其动态响应特性。该方法可描述微悬臂梁的弯曲特性、固有特性、动态响应特性的尺寸效应现象。实例分析表明,当微... 详细信息

针对高冲击下微构件动态响应特性的经典理论值与实验结果存在较大误差的问题,提出了高冲击下微悬臂梁尺寸效应模型并分析了其动态响应特性。该方法可描述微悬臂梁的弯曲特性、固有特性、动态响应特性的尺寸效应现象。实例分析表明,当微悬臂梁特征尺寸和内禀特征尺寸处于同一量级时,高冲击下微悬臂梁的弯曲挠度、固有频率、动态位移响应均表现出明显的尺寸效应现象,合理地解释了实验结果与经典理论值存在误差较大的问题。

关键词：高冲击微悬臂梁动态响应尺寸效应应变梯度理论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

高灵敏度SCR微悬臂梁设计仿真

传感器与微系统 2013年第1期32卷 95-98,101页

作者：李其昌王广龙高凤岐卢江雷张姗姗王磊军械工程学院河北石家庄050003 上海市计量测试研究院上海200233 中国科学院微电子所北京100029

利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则。对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器... 详细信息

利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则。对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器、制动器的设计与优化具有一定指导意义。

关键词：微悬臂梁高灵敏度应力集中区域有限元仿真

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

一种分析微悬臂梁大挠度变形的新算法

传感器与微系统 2008年第7期27卷 93-95,101页

作者：陆静向宇马晓强广西工学院汽车工程系广西柳州545006

考虑静电力边缘效应的影响,建立了微悬臂梁大挠度变形的静态变形分析模型,通过梁弯曲理论将控制方程化为一阶非线性微分方程组,结合非线性方程组求根、迭代修正齐次扩容精细积分法和增量迭代法,提出了一种分析微悬臂梁大挠度变形的半解... 详细信息

考虑静电力边缘效应的影响,建立了微悬臂梁大挠度变形的静态变形分析模型,通过梁弯曲理论将控制方程化为一阶非线性微分方程组,结合非线性方程组求根、迭代修正齐次扩容精细积分法和增量迭代法,提出了一种分析微悬臂梁大挠度变形的半解析、半数值算法。数值算例表明:该方法具有较高的精度和稳定性,是分析微悬臂梁变形的一种有效方法;通过对微梁静态特性的分析表明:考虑边缘效应后微梁的吸合电压减小,考虑大挠度变形的影响后微梁的吸合电压增加。

关键词：微悬臂梁打靶法迭代修正齐次扩容精细积分法增量迭代

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

微悬臂梁传感器的光学检测系统研究

微悬臂梁传感器的光学检测系统研究

作者：李虹霞江苏大学

学位级别：硕士

微悬臂梁传感器是MEMS传感器的基本结构之一,主要用于微纳传感检测,具有体积小质量轻、非标记、灵敏度高、响应速度快等优点,目前已在生物医学、化学、材料、环境监测等领域成为研究热点。随着微悬臂梁检测技术的不断改进,对其检测系统... 详细信息

微悬臂梁传感器是MEMS传感器的基本结构之一,主要用于微纳传感检测,具有体积小质量轻、非标记、灵敏度高、响应速度快等优点,目前已在生物医学、化学、材料、环境监测等领域成为研究热点。随着微悬臂梁检测技术的不断改进,对其检测系统的多功能化提出了要求,本文以微悬臂梁传感器的检测系统为研究对象,通过分析微悬臂梁动静态工作模式下的偏转位移和共振频率变化,设计并搭建一套基于光杠杆原理的微悬臂梁传感器光学检测系统,该系统能够同时实现对微悬臂梁的静态和动态检测,具体研究内容如下:(1)设计基于光杠杆原理的检测光路。光路模块包括光源、反射镜、透镜、和光电探测器等光学件,通过光学结构搭建能够将微悬臂梁的微小位移放大216倍,根据光电探测器的噪声影响,理论上检测系统能够检测到的最小位移为26.6nm。(2)设计微悬臂梁的夹持机构及动态激励装置。微悬臂梁夹持机构采用机械固定的方式便于拆卸,外部驱动的压电陶瓷谐振频率为315k Hz,响应测试的迟滞性误差为11%,符合微悬臂梁的驱动要求;压电驱动电源模块采用信号发生器与功率放大器组合的形式,同时满足了激励信号的输出要求及压电陶瓷75V的驱动电压要求。(3)编写图像显示和数据采集处理程序。引入图像采集光路,并利用Lab VIEW平台设计图像监测面板;设计光电探测器的信号处理模块,将输出的μA级的光电信号进行转换及运算放大为m V级,数据采集卡将电压信号送至上位机软件;数据采集与处理模块采用生产者-消费者的结构确保数据不会流失,动态测试时根据微悬臂梁的空载谐振频率12.324k Hz及梁上的附加质量设置扫频信号,对滤波后的信号作FFT分析得出时频信息。(4)搭建整体检测系统并完成系统的性能测试。微悬臂梁传感器上分别加载直径约50μm的Mo粒子和FeO粒子,理论质量分别是13.34μg、5.085μg,静态测得Mo粒子的质量为12.12μg,相对误差9.15%,测得FeO粒子的质量为4.67μg,相对误差8.16%;动态测得Mo粒子的质量为12.05μg,相对误差9.67%,测得FeO粒子的质量为4.62μg,相对误差9.14%;分析测量误差可以看出,静态模式下集中载荷的测量误差比均匀载荷的测量误差小,动态模式下梁表面粒子质量集中分布的测量误差比粒子质量均匀分布的测量误差小,测量结果表明系统可用于检测微小质量。

关键词：微悬臂梁光杠杆动静态检测压电陶瓷

PZT压电薄膜的压电系数d_(31)的测量及其微悬臂梁简谐振动模拟

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

复旦学报（自然科学版） 2002年第2期41卷 187-191页

作者：周嘉黄宜平复旦大学微电子系

介绍了一种应用微悬臂梁结构 ,简单直接测量其中压电薄膜PZT的横向压电系数d3 1的方法 .利用微悬臂梁器件本身和普通仪器 ,通过测量电压作用下微悬臂梁所产生的挠度值即可获得d3 1.还介绍了应用所测的d3 1对微悬臂梁的谐振进行有限元模... 详细信息

介绍了一种应用微悬臂梁结构 ,简单直接测量其中压电薄膜PZT的横向压电系数d3 1的方法 .利用微悬臂梁器件本身和普通仪器 ,通过测量电压作用下微悬臂梁所产生的挠度值即可获得d3 1.还介绍了应用所测的d3 1对微悬臂梁的谐振进行有限元模拟的方法 ,及与振动实验结果的比较 .

关键词： PZT压电薄膜压电系数d31 测量微悬臂梁简谐振动模拟压电材料