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迈克耳孙干涉仪中动镜微小位移量的测量方法研究

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物理与工程 2023年第2期33卷 136-142页

作者：张再源徐永祥南京理工大学理学院江苏南京210094 南京理工大学理学院物理实验中心江苏南京210094

研究了迈克耳孙干涉仪中可动镜微小位移量的精确测量方法。利用单色光定标确定条纹间距与像素间隔之间的关系,进而利用白光干涉通过测量零级暗纹中心的移动量,由此得到动镜的微小位移量。对于单色光条纹图,通过逐行傅里叶变换、移频、... 详细信息

研究了迈克耳孙干涉仪中可动镜微小位移量的精确测量方法。利用单色光定标确定条纹间距与像素间隔之间的关系,进而利用白光干涉通过测量零级暗纹中心的移动量,由此得到动镜的微小位移量。对于单色光条纹图,通过逐行傅里叶变换、移频、低通滤波与反变换消除条纹噪声,进而利用多项式拟合、条纹极值点自动搜索等得到条纹间距与像素间的换算关系;而对于白光条纹图,则利用条纹平滑、设定限定性阈值消除个别奇异极值点和各行值平均等方法得到其中央零级暗纹中心移过的像素间隔。由此最终精确得到动镜的微小位移量。论文算法综合运用了图像处理技术、最小二乘拟合技术、条纹极值点自动搜索技术等,实现了对迈克耳孙干涉仪中动镜微小位移量测量算法的智能化,可用于标定干涉仪中平面参考镜的微小位移,也可用于测量透明薄膜的厚度。

关键词：迈克耳孙干涉仪微小位移图像处理干涉测量术白光干涉

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基于PC104的微小位移检测

仪器仪表学报 2006年第7期27卷 779-782页

作者：吴钢华何永义李志远方明伦上海大学CIMS与机器人中心上海200072

文中提出了一种新的针对机械产品常见的微小长度量测试的通用数据采集设计方案,该方案可用于粗糙度、圆度等的检测。系统电路采用调频传感器、集成运放放大电路、集成相敏检波、高速A/D模数转换,采用通用的PC104嵌入式机进行数据采集和... 详细信息

文中提出了一种新的针对机械产品常见的微小长度量测试的通用数据采集设计方案,该方案可用于粗糙度、圆度等的检测。系统电路采用调频传感器、集成运放放大电路、集成相敏检波、高速A/D模数转换,采用通用的PC104嵌入式机进行数据采集和处理。整个系统具有体积小、检测精度高、通用性强的特点,并成功地应用在圆度仪上。

关键词： PC104 微小位移相敏检波圆度

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基于Matlab的迈克尔逊微小位移测量

大学物理实验 2022年第5期35卷 96-99页

作者：罗天娇吴幸锴孙微微侯丽华长春电子科技学院光电科学学院吉林长春130000 长春理工大学光电工程学院吉林长春130000

传统迈克尔逊干涉条纹人工计数,测量方法稳定性差,人为误差较大。现提出一种基于CCD进行干涉条纹采集,利用Matlab中Waved Ruler(波尺)对干涉条纹进行图像处理。根据干涉条纹明暗周期性变化,通过对干涉条纹去背景噪声、二值化阈值滤波、... 详细信息

传统迈克尔逊干涉条纹人工计数,测量方法稳定性差,人为误差较大。现提出一种基于CCD进行干涉条纹采集,利用Matlab中Waved Ruler(波尺)对干涉条纹进行图像处理。根据干涉条纹明暗周期性变化,通过对干涉条纹去背景噪声、二值化阈值滤波、去小噪声、条纹优选等步骤,对干涉条纹处理并计数,从而测得物体微小位移。实验结果表明,该方法优化了迈克尔逊干涉法测物体微小位移,测量最小误差达到0.4%,减小测量过程中的误差,提高测量稳定性。

关键词：迈克尔逊干涉微小位移干涉条纹图像处理

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基于虚拟仪器的微小位移测量实验

大学物理实验 2023年第2期36卷 81-84页

作者：陈禹同罗浩王慧丽西南科技大学数理学院四川绵阳621010

大学物理实验课堂中的通常采用迈克尔逊干涉仪进行微小位移测量,本文利用高灵敏度光电探测器、数据采集卡、精密电控平移台、计算机组成控制、光电转换、数据采集硬件系统,基于LabVIEW软件编写交互式数据采集和数据处理、存储和显示软件... 详细信息

大学物理实验课堂中的通常采用迈克尔逊干涉仪进行微小位移测量,本文利用高灵敏度光电探测器、数据采集卡、精密电控平移台、计算机组成控制、光电转换、数据采集硬件系统,基于LabVIEW软件编写交互式数据采集和数据处理、存储和显示软件,实现对微小位移的自动测量,测量最小误差可达到0.27%。

关键词：迈克尔逊干涉微小位移虚拟仪器信号处理

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微小位移量检测系统设计

微计算机信息 2008年第11期24卷 178-180页

作者：魏仲慧张文新何昕中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033

介绍了基于激光三角测量法的微小位移量检测原理,并依据这个原理,设计了以一维PSD为检测元件,以FPGA为时序逻辑控制部件,以AT89S51单片机为运算核心的微小位移量检测系统。

关键词： PSD 信号处理微小位移

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微小位移测量仪

物理实验 2002年第3期22卷 18-20页

作者：王鹏沈阳炮兵学院实验中心沈阳110162

用“差动电容”传感器测量微小位移 ,可帮助学生完成“弹性模量的测量”等实验 .应用现代测量技术 ,简化了实验过程。

关键词：传感器差动电容微小位移测量仪

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基于SURF算法的微小位移测量

激光与红外 2012年第6期42卷 699-704页

作者：范有臣李迎春都琳解放军装备指挥技术学院研究生院北京101416 解放军装备指挥技术学院光电装备系北京101416

针对导弹等高加速度运动目标发射初期微小初始位移检测的需要,提出采用SURF算法将位移变化转化为提取的特征点对欧式距离的变化的方法。该算法在SURF提取图像特征点的基础上,使用最邻近匹配进行快速的初匹配,然后采用提出的一种基于平... 详细信息

针对导弹等高加速度运动目标发射初期微小初始位移检测的需要,提出采用SURF算法将位移变化转化为提取的特征点对欧式距离的变化的方法。该算法在SURF提取图像特征点的基础上,使用最邻近匹配进行快速的初匹配,然后采用提出的一种基于平行距离的匹配方法进一步去除错误的匹配点对,根据正确的匹配点对的距离计算出初始位移。实验结果表明,该算法精度在亚像素级别,运行时间在10 ms之内,能够实时可靠的给出目标的初始位移。

关键词：微小位移 SURF 匹配平行距离

平行光路方向运动的光栅多普勒效应及其在测微小位移中的应用

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物理实验 2010年第2期30卷 43-46页

作者：张萌焦文苑於菪珉潘永华高惠滨丁剑平南京大学物理系江苏南京210093

研究了光栅平行光路运动时产生的光的多普勒效应,用实验进行了验证,并将该原理应用到对微小位移量的检测中.对原理进行了拓展,得到光栅以任意角度运动产生光的频移的普适公式.

关键词：光栅平行运动多普勒效应微小位移

基于LabVIEW机器视觉的微小位移动态测量

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微计算机信息 2007年第31期23卷 135-136,286页

作者：韩定安曾亚光苏佳槟唐坚林佛山科学技术学院光电子与物理学系广东528000

本文采用LabVIEW机器视觉平台开发设计基于USB摄像头的微小位移测量系统。使用LabVIEW软件平台编程控制USB摄像头,采集显微镜中放大物体前后移动的图像,通过计算物体图像移动像素点数来测量物体移动的微小位移。本测量系统摄像帧速为30... 详细信息

本文采用LabVIEW机器视觉平台开发设计基于USB摄像头的微小位移测量系统。使用LabVIEW软件平台编程控制USB摄像头,采集显微镜中放大物体前后移动的图像,通过计算物体图像移动像素点数来测量物体移动的微小位移。本测量系统摄像帧速为30帧/秒,可以实现微小位移的动态测量。

关键词：微小位移 LabVIEW USB摄像头读数显微镜