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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
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主题

  • 1 篇 带电粒子追踪
  • 1 篇 边缘场
  • 1 篇 串扰
  • 1 篇 微型阵列束闸
  • 1 篇 多束电子光学

机构

  • 1 篇 中国科学院电工研...
  • 1 篇 中国科学院大学

作者

  • 1 篇 韩立
  • 1 篇 张雨露
  • 1 篇 张利新
  • 1 篇 刘俊标
  • 1 篇 王文博
  • 1 篇 殷伯华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微型阵列束闸"
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微型阵列束闸电子束偏转特性研究
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电子显微学报 2023年 第2期42卷 171-179页
作者： 张雨露 张利新 刘俊标 王文博 殷伯华 韩立 中国科学院电工研究所 微纳加工技术与智能电气设备研究部北京100190 中国科学院大学 电子电气与通信工程学院北京100049
为了降低微型阵列式束闸边缘场和邻近电场对多束电子束的偏转影响和串扰,本文以3×3阵列束闸为研究对象,利用COMSOL Multiphysics中的静电和带电粒子追踪模块,研究束闸长宽比、隔离接地极和束闸上方增加接地层对电子束偏转的影响。研究... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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