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面向表面微加工工艺的微器件设计框架的研究

机床与液压 2002年第2期30卷 13-16页

作者：闫向彤江平宇西安交通大学机械工程学院CAD/CAM研究所西安710049

本文以微器件设计为对象,对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究。提出了采用基于三层Ｗｅｂ－ＡＳＰ集成框架实现ｅ－ＣＡＤ原型工具的编程方案。其中,并行任务流管理与控制、微器... 详细信息

本文以微器件设计为对象,对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究。提出了采用基于三层Ｗｅｂ－ＡＳＰ集成框架实现ｅ－ＣＡＤ原型工具的编程方案。其中,并行任务流管理与控制、微器件实例及设计资源库、微加工工艺规划及仿真、微器件设计评价等是该系统实现的关键要素。在此基础上将建立网上微器件设计中心,并通过应用服务机制,实现对微器件设计工具使用的商务化,以达到降低设计成本、加快ＭＥＭＳ产业化之目的。

关键词：表面微加工工艺微器件并行设计应用服务 WEB-ASP 微机电系统 CHD

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用于微器件装配的微操作系统

机器人 1999年第1期21卷 12-15页

作者：郑巍徐毓娴李庆祥清华大学精密仪器与机械学系

微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套用于微装配的微操作系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析。

关键词：微器件装配微机械微操作系统

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微器件独领风骚

世界产品与技术 1999年第3期 26-27页

作者：黄芳信息产业部情报所

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基于功能原理的微器件方案设计方法研究

中国制造业信息化（学术版） 2005年第6期34卷 91-94页

作者：闫向彤江平宇西安交通大学机械工程学院CAD/CAM研究所陕西西安710049

针对微器件设计方法中的功能原理方案设计问题,提出了通过设计目录寻找子功能原理解,并通过原理解的组合形成设计方案的方法。基于功能效应原理解之间的映射关系建立了微器件的设计目录库。在把用户需求转化成系统总功能后,对总功能进... 详细信息

针对微器件设计方法中的功能原理方案设计问题,提出了通过设计目录寻找子功能原理解,并通过原理解的组合形成设计方案的方法。基于功能效应原理解之间的映射关系建立了微器件的设计目录库。在把用户需求转化成系统总功能后,对总功能进行分解,利用微器件设计目录对子功能求解,由功能原理间的映射综合获得微器件的原理方案。通过原型系统的开发和实例验证,该方法对微器件的概念设计起到了指导作用。

关键词： MEMS 微器件方案设计功能分解设计目录

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用于微器件制作的灰度掩模技术

微细加工技术 2001年第2期 71-75页

作者：张新宇汤庆乐张智裴先登华中大学计算机学院外存储系统国家专业实验室中国船舶重工集团华中光电技术研究所光电二部武汉430074 光电子工程系

讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用 ,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形结构对应的灰度掩模板的设计实例及其应用 ,为灰度掩模技术制作微透镜器件及微... 详细信息

讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用 ,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形结构对应的灰度掩模板的设计实例及其应用 ,为灰度掩模技术制作微透镜器件及微尖形阵列奠定了基础。

关键词：灰度掩模微透镜阵列微尖形结构微器件

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新型微机械加工为微器件开辟新应用领域

电子产品世界 2004年第2B期11卷 28-29页

作者： Chris Bang MEMGen公司

硅微机械加工被认为是能创造种类繁多的机电元件的一种加工手段.虽然硅基的微机械学在压力和加速度传感器的制造方面取得了巨大的成功,但很多其它类型的器件在实验室外取得成功却很有限.现在人们开发出了一种新型的微机械加工工艺,它基... 详细信息

硅微机械加工被认为是能创造种类繁多的机电元件的一种加工手段.虽然硅基的微机械学在压力和加速度传感器的制造方面取得了巨大的成功,但很多其它类型的器件在实验室外取得成功却很有限.现在人们开发出了一种新型的微机械加工工艺,它基于金属材料而非硅材料,可望制成以前无法制造的新型微器件.EFAB是一种通过金属电镀来制造微器件结构的工艺,它可以实现传统的微机械加工无法制作的复杂的形状和结构.

关键词：硅微机械加工微器件 EFAB 工作原理微机械加工工艺组装电磁器件

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微器件市场年中报告形势好坏不一

世界电子元器件 2008年第10期 96-96页

市场调研公司IC Insights的“2008年年中更新”报告对微型元件市场进行了详细分析，该报告指出，2008年，微处理器（MPU）、微控制器（MCU）和数字信号处理器（DSP）市场形势好坏不一。但由于单位需求情况稳健，且始于2006年的价格大幅... 详细信息

市场调研公司IC Insights的“2008年年中更新”报告对微型元件市场进行了详细分析，该报告指出，2008年，微处理器（MPU）、微控制器（MCU）和数字信号处理器（DSP）市场形势好坏不一。但由于单位需求情况稳健，且始于2006年的价格大幅下滑走势结束，今年该类元件的总体增长情况将略有增强，并于2009年保持稳定。

关键词：市场调研微器件数字信号处理器微型元件微处理器市场形势微控制器增长情况

兆声功率密度对同轴兆声辅助喷射电沉积镍的影响

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电镀与涂饰 2024年第1期43卷 1-6页

作者：翟科周丰梁勇康马仕豪李腾楠杜立群河北大学质量技术监督学院河北保定071002 大连理工大学高性能精密制造国家重点实验室辽宁大连116024

[目的]金属微器件在电沉积过程中往往会产生较大的残余应力,对微器件的尺寸精度、力学性能和良率产生不利影响。[方法]为降低镀层的残余应力,在喷射电沉积镍过程中施加同轴兆声辅助。研究了兆声功率密度对Ni镀层形貌、表面粗糙度、显微... 详细信息

[目的]金属微器件在电沉积过程中往往会产生较大的残余应力,对微器件的尺寸精度、力学性能和良率产生不利影响。[方法]为降低镀层的残余应力,在喷射电沉积镍过程中施加同轴兆声辅助。研究了兆声功率密度对Ni镀层形貌、表面粗糙度、显微硬度和残余应力的影响。[结果]施加同轴兆声辅助后,所得Ni镀层的宏观和微观形貌都有所变差,表面粗糙度略微增大,显微硬度变化不大,但残余应力显著降低。当兆声功率密度为10 W/cm2时,Ni镀层的残余应力最低,比无兆声辅助时所得Ni镀层低了37.75%。[结论]在电沉积过程中施加兆声辅助能够有效降低镀层的残余应力。

关键词：微器件喷射电沉积镍残余应力兆声辅助功率密度

抗磁悬浮原理在执行与传感方面的应用研究及发展

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微纳电子技术 2019年第3期56卷 177-186页

作者：武科迪苏宇锋张自军丁建桥郑州大学机械工程学院郑州450001 安阳鑫盛机床股份有限公司河南安阳455000

抗磁悬浮是利用物质对磁场的排斥力实现磁悬浮,作为磁悬浮技术的一个分支,是一种真正意义上的无接触悬浮。按照不同的应用领域,从传感器、执行器、能量采集器、生物科学以及自组装等方面对抗磁悬浮结构进行了具体的介绍,概述了抗磁悬浮... 详细信息

抗磁悬浮是利用物质对磁场的排斥力实现磁悬浮,作为磁悬浮技术的一个分支,是一种真正意义上的无接触悬浮。按照不同的应用领域,从传感器、执行器、能量采集器、生物科学以及自组装等方面对抗磁悬浮结构进行了具体的介绍,概述了抗磁悬浮在各个领域的工作原理、结构组成以及适用范围,分析了抗磁悬浮发展现状及应用前景。研究得出抗磁悬浮具有室温下无源工作、自主稳定悬浮以及适宜在微器件尺度下使用等优点,其系统简单、可靠性高、系统体积小且质量轻,在工程技术上有重大的意义。

关键词：抗磁悬浮磁悬浮微器件传感微电子机械系统(MEMS)