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基于γ-Al_2O_3膜微加工煤油传感器研究
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传感器与微系统 2012年 第3期31卷 43-45,49页
作者: 张洪泉 乔英杰 范茂军 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院 黑龙江哈尔滨150001 中国电子科技集团公司第四十九研究所 黑龙江哈尔滨150001
基于半导体式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微热板结构载体,采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极。在微热板的2个电极上,涂敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸气敏感单元,实现在微结构体上气体... 详细信息
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微加工西兰花流通保鲜技术研究
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中国农学通报 2005年 第12期21卷 101-102,193页
作者: 李光普 胡云峰 欧燕 郭宽 天津市农科院 天津300192 天津科技大学 天津300222 西北农林科技大学园艺学院 陕西杨凌712100
比较了两种预冷方式及三种保鲜剂,六种保鲜膜对微加工西兰花的保鲜效果,最终筛选出适 宜其流通保鲜的工艺流程和最佳保鲜剂保鲜膜,使微加工西兰花失重率,黄花率,开花率及腐烂率明 显降低。最终产品经检测维生素C水平较高,同时达到食用... 详细信息
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飞秒激光在微加工领域的研究及其应用
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激光杂志 2013年 第4期34卷 3-5页
作者: 李永强 黄存友 广东海洋大学理学院 广东湛江524088
飞秒激光以其超短脉冲、超强峰值功率和高聚焦能力,能够实现超精细三维微加工的特点获得了广泛关注和深入研究,所以飞秒激光的微加工技术发展迅速。本文首先简要回顾了飞秒激光与透明和非透明材料之间相互作用的机理,然后详细综述了飞... 详细信息
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一种新型微加工交直流电场传感器设计
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仪表技术与传感器 2021年 第6期 41-45页
作者: 朱莎 曾晗 王师奇 付震东 国家电网江西电力有限公司检修分公司 江西南昌330096 华东交通大学电气与自动化工程学院 江西南昌330013
提出一种灵敏度和测量范围可调的交流/直流电场传感器设计方案。该传感器采用绝缘体微加工工艺制造,由微弹簧支撑的金属膜组成,其工作原理为金属膜在入射电场作用下产生位移,并由光电探测器检测相应的输出电流差值。该传感器与传统电场... 详细信息
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超声波微加工间隙在线测控技术研究
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仪器仪表学报 2002年 第Z1期23卷 367-368页
作者: 仲进安 郭隐彪 张翊 厦门大学机电系 厦门361005
硬脆材料和电难以加工材料如玻璃、陶瓷、人造宝石、半导体基板的微型孔、槽及微结构 ,通常采用超声波通过工具振动和工作液中磨粒的作用达到微加工的目的。为了保证加工精度和提高加工效率 ,工具和工件之间应保持一定的间隙。控制间隙... 详细信息
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微电机与微加工
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微特电机 2006年 第7期34卷 32-33,40页
作者: 郭中醒 权利 中国电子科技集团公司第二十一研究所 上海200233
简述了和微电机相关的微加工生产中的方法,介绍了微型机电部件成型的实现途径。
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用简单微加工基底进行细胞微图型化的初步探索
用简单微加工基底进行细胞微图型化的初步探索
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作者: 李红 重庆大学
学位级别:硕士
近年来,人们对细胞培养后形成的微图型化(micropatterning)分布(尤其是微阵列方式)技术越来越感兴趣。 本文初步探索了用简单方式来规约培养细胞排列分布的可能性。所谓简单方式,主要是采用软刻法中较为常用的基底材料,进行较为简单... 详细信息
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准分子激光微加工像面定位及Z轴跟踪系统的设计
准分子激光微加工像面定位及Z轴跟踪系统的设计
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作者: 林莲萍 北京工业大学
学位级别:硕士
随着科学技术的不断发展,激光加工技术作为先进制造技术已经在工业、航空、机械制造、医疗等各个领域发挥着不可替代的作用,其对提高产品质量、实现自动化等也起到了重要的作用。准分子微加工技术更是以其功率密度高、成像分辨率高、吸... 详细信息
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纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究
纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究
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作者: 刘春阳 天津大学
学位级别:硕士
脉冲激光微加工技术作为精密加工、微结构制造领域的先进加工技术之一,具有非接触、污染少、精度高、加工效果好、加工范围广等特点,在MEMS制造、航空航天、医疗仪器等领域得到了广泛的应用。本文设计的纳秒脉冲激光微加工系统,主要包... 详细信息
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电容式微加工超声传感器(cMUT)的结构设计及仿真
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纳米技术与精密工程 2005年 第2期3卷 156-159页
作者: 宋光德 刘娟 栗大超 天津大学精密仪器与光电子工程学院 天津300072
与传统的压电传感器相比,电容式微加工超声传感器(cMUT)性能优良,有着广泛的应用前景.为此,介绍了cMUT的基本结构和工作原理,并提出了一种新型结构.利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行模态分析,得到其共振频率和一阶振动图;利用ANSY... 详细信息
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