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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
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主题

  • 1 篇 数字化
  • 1 篇 微列阵光学元件
  • 1 篇 面形检测
  • 1 篇 微镜列阵
  • 1 篇 光学测量
  • 1 篇 质量评价
  • 1 篇 刀口检测

机构

  • 1 篇 四川大学

作者

  • 1 篇 张均
  • 1 篇 董军
  • 1 篇 张蓉竹
  • 1 篇 蔡邦维
  • 1 篇 张艳

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微列阵光学元件"
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微光学元件面形的数字刀口检测技术
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强激光与粒子束 2004年 第2期16卷 137-140页
作者： 张艳 张蓉竹 董军 张均 蔡邦维 四川大学光电科学技术系 四川成都610064
　微列阵光学元件的质量评价是光学测量中的一项新课题。将传统的刀口检测技术进行数字化改进后,用于微光学元件的面形检测,具有实时、定量、精度高的特点,在光学元件质量评价中有着重要意义。介绍了应用数字刀口检测反射式微镜列阵面... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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