检索结果-南通市图书馆

深圳大学学报（理工版） 2002年第3期19卷 43-48页

作者：李文宇马君显杨淑雯深圳大学新技术研究中心深圳518060

介绍微光电机械系统(MOEMS)技术在国内外的发展现状,通过多个应用实例和方案,展示了其在光通信领域的广阔应用前景.

关键词：微光电机械系统微电机械系统光通信光交换

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微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景

光机电信息 2003年第1期20卷 1-9页

作者：于立亭李锋

微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资... 详细信息

微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资产的市场,预计未来若干年仍会高速增长。由于人们对医疗保健、信息、可移动性和可持续发展的渴望,刺激了对微技术产品的需求,一些高技术生产工艺和材料应运而生,而新器件和新系统的发展也使得一些用来模拟器件功能、生产工艺和综合优化过程的软件显得至关重要。此外,微器件的应用正在扩展至信息、自动化和医学技术领域,同时也为未来由微小型化在化学工程、生命科学、工业自动化和光通信等学科引起的变革奠定了全新的基础。

关键词：微电机械系统微光电机械系统应用前景

光通信用微光电机械系统(MOEMS)——欧洲工业活动的现状及未来的发展趋势

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光机电信息 2003年第6期20卷 1-8页

作者：宋晓舒

近年来 ,光纤远程通信市场的发展令人瞩目。 1999～ 2 0 0 0年 ,世界大型企业集团用于收购公司及购买新技术的资金达 110 0亿美元。光纤远程通信市场的发展不断地激励着新企业的诞生。以 2 0 0 1年为例 ,在欧洲和美国 ,每月均有 2～ 5... 详细信息

近年来 ,光纤远程通信市场的发展令人瞩目。 1999～ 2 0 0 0年 ,世界大型企业集团用于收购公司及购买新技术的资金达 110 0亿美元。光纤远程通信市场的发展不断地激励着新企业的诞生。以 2 0 0 1年为例 ,在欧洲和美国 ,每月均有 2～ 5家公司创立。此外 ,在光纤远程通信领域还聚集了大量来自投机资本家的巨额投资。光纤远程通信现已成为微系统技术一直在寻找的极具潜力的新应用领域。因远程通信中的全光路由系统的路由功能可通过MEMS元件实现 ,而MEMS是惟一可实现大型矩阵尺寸交叉连接的技术。此外 ,由于对网络内部件的需求不均衡 ,对网络部件重新配置 (如创造具有更高容量的区域 )的需求呈不断增长趋势。MEMS元件适用于重新配置功能 ,如波分复用 (WDM )插 /分元件、光交叉连接或光开关。

关键词：光通信微光电机械系统远程通信光路由系统光纤通信 MOEMS

M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计

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光电子．激光 2004年第11期15卷 1263-1266页

作者：吴波陈才和张晓玲崔宇明张燕君钟娟娟天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室天津300072

提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿... 详细信息

提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为:固有频率1353Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2)。

关键词：集成光学波导偏振器 MOEMS 声光调制器微光电机械系统干涉仪量块分析设计相位检测

光电多芯片模块及其在高速计算机和光通信网络中的应用

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半导体光电 2002年第6期23卷 386-390页

作者：孙亚春王庆康上海交通大学微电子研究所上海200030

为了改善高速计算机和通信网络中的通信延迟和连通性能 ,从 2 0世纪 90年代初的光电子单片集成到 90年代末的光电多芯片模块 ,人们在这一领域进行了很多研究。根据国际上近年来的相关研究报道 ,介绍了光电多芯片模块 (OE MCM )的结构 ,... 详细信息

为了改善高速计算机和通信网络中的通信延迟和连通性能 ,从 2 0世纪 90年代初的光电子单片集成到 90年代末的光电多芯片模块 ,人们在这一领域进行了很多研究。根据国际上近年来的相关研究报道 ,介绍了光电多芯片模块 (OE MCM )的结构 ,并阐述了其制造工艺及其在高速计算机和通信网络中的应用。

关键词：微光电机械系统光电多芯片模块光电互连金属-半导体-金属光电探测器

GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟

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半导体光电 2009年第2期30卷 187-190页

作者：秦龙韩勤杨晓红朱彬鞠研玲中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083

采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学-机械模型对GaAs基1.55μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究。结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反... 详细信息

采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学-机械模型对GaAs基1.55μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究。结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHz。

关键词：微光电机械系统密集波分复用调谐范围滤波器

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微型光谱仪的发展现状

光学精密工程 2001年第4期9卷 372-376页

作者：鞠挥吴一辉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130022

光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱... 详细信息

光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向。

关键词：微光电机械系统光学纤维光谱仪 MEMS MOEMS

应用于暂时粘结、基片保护和MOEMS封装的新型材料

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电子工业专用设备 2005年第5期34卷 57-61页

作者： Paul Williams Dickson Leung Dominic Miranda 布鲁尔科技有限公司上海200021

随着微电子制造商持续缩小晶体管基极和其他元件的尺寸,集成电路的密度不断增大,电路连接工艺中开始使用低k介电质和铜导电体。为了进一步提高电路整体性能与射电频率性能、缩小体积、降低电源损耗、提高散热效率,承载电路的基片的厚度... 详细信息

随着微电子制造商持续缩小晶体管基极和其他元件的尺寸,集成电路的密度不断增大,电路连接工艺中开始使用低k介电质和铜导电体。为了进一步提高电路整体性能与射电频率性能、缩小体积、降低电源损耗、提高散热效率,承载电路的基片的厚度正在持续变薄。常规的工艺已经无法加工先进的超薄基片。为了解决这个工艺中的难题,BrewerScience利用自己先进的材料、工艺、机械设备的研究开发水平,正在开发一套崭新的超薄基片的加工操作流程。介绍用于将超薄基片暂时粘结到另一载体的系列材料和流程,完成加工以后,基片和载体可以很容易地分离。另外,对用于保护基片的新型涂料也进行了介绍。在对基片进行薄化和切割的时候,这种涂料可以对基片提供有效的保护。最后,介绍了高透明高折射材料,这些材料用在高亮度发光二极管(HB-LED)和微光电机械系统(MOEMS)中,可以降低由封装引起的光损耗。

关键词：暂时粘结保护涂层微光电机械系统封装新型材料

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智能系统数学课题：欧洲会议会议录

国外科技新书评介 2008年第2期 2-3页

作者：朱尧辰中国科学院应用数学研究所

本书使用新材料作为功能性材料的类属术语。例如压电、磁致伸缩和电致伸缩材料、压电陶瓷、电子流变液体及形状记忆合金。设计智能系统时利用了这些物理或化学性质，广泛地用作控制部件。例如传感器或调节器，连接到结构的表面或者嵌入... 详细信息

本书使用新材料作为功能性材料的类属术语。例如压电、磁致伸缩和电致伸缩材料、压电陶瓷、电子流变液体及形状记忆合金。设计智能系统时利用了这些物理或化学性质，广泛地用作控制部件。例如传感器或调节器，连接到结构的表面或者嵌入在结构内，形成能被监测或控制的智能结构或者自适应结构。由于微型化的最新进展，灵敏转换器已出现在几乎所有的工业领域中，从电讯到光学、生物力学及环境中，它们甚至被用于极端的环境中如高压、高温、辐射。现在它们在各种应用中非常流行，特别是通过微光电机械系统（MOEMS）。

关键词：智能系统欧洲会议会议录数学课自适应结构微光电机械系统电致伸缩材料形状记忆合金

维普期刊数据库评论

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微型棱锥形镜俘获原子

激光与光电子学进展 2006年第7期43卷 72-72页

作者：马沂(编译)

凹面棱锥形镜的出现使俘获原子又多了一种选择方法。英国研究人员设计了一种新型微加工凹面棱锥形镜，它能在磁光俘获器（MOTs）中俘获原子并在原子芯片上控制它们的运动。据来自伦敦皇家学院和南安普敦大学研究小组报道（Applied Physi... 详细信息

凹面棱锥形镜的出现使俘获原子又多了一种选择方法。英国研究人员设计了一种新型微加工凹面棱锥形镜，它能在磁光俘获器（MOTs）中俘获原子并在原子芯片上控制它们的运动。据来自伦敦皇家学院和南安普敦大学研究小组报道（Applied Physics Letter 88，071116），棱锥形镜可用于微光电机械系统（MOEMS）并促进量子计算机的发展。

关键词：原子芯片俘获微光电机械系统量子计算机微加工凹面