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兵器装备工程学报 2024年第3期45卷 9-16,25页

作者：周陆强杨波东南大学仪器科学与工程学院南京210096 东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室南京210096

微光栅加速度计凭借着极高灵敏度和分辨率等优势成为近几年的研究热点,但外界环境温度的变化会影响其输出精度。为优化其温度特性,提出了一种两级内外温控系统。通过介绍微光栅加速度计的基本原理,分析了由于半导体激光器和MEMS敏感芯... 详细信息

微光栅加速度计凭借着极高灵敏度和分辨率等优势成为近几年的研究热点,但外界环境温度的变化会影响其输出精度。为优化其温度特性,提出了一种两级内外温控系统。通过介绍微光栅加速度计的基本原理,分析了由于半导体激光器和MEMS敏感芯片的温度特性对其造成的影响。针对加速度计设计了温控电路,对其搭载两级内外温控系统,使其工作温度保持恒定,最后对该系统进行了实验测试。实验结果表明:在该温控系统下,加速度计的工作温度控制精度可达±0.02℃。对于加速度计的噪声性能而言,在0.01~10 Hz频段,相较于未加温控系统的加速度计,整体信噪比提高了20 dB。

关键词：微光栅加速度计两级温度控制温控电路半导体激光器

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微接电开关及铜微光栅的制作工艺研究

微接电开关及铜微光栅的制作工艺研究

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作者：罗磊大连理工大学

学位级别：硕士

随着微机电技术的迅猛发展,具有体积小、能耗少、可靠性高等优点的金属微器件在军工、医疗、精密仪器等领域取得了广泛应用。同时,采用光刻和微电铸工艺来制作金属微器件的方法得到了广泛关注。本文首先根据设计要求确定了微接电开关的... 详细信息

随着微机电技术的迅猛发展,具有体积小、能耗少、可靠性高等优点的金属微器件在军工、医疗、精密仪器等领域取得了广泛应用。同时,采用光刻和微电铸工艺来制作金属微器件的方法得到了广泛关注。本文首先根据设计要求确定了微接电开关的结构形式和尺寸,同时研究了基于光刻和微电铸制作微开关时的工艺难点,随后开展了具有高深宽比结构的镍制微接电开关的制作工艺研究,通过借鉴微开关的制作工艺继而开展了铜微光栅的制作工艺研究。根据现有微接电开关和微光栅的制作方法,确定在金属基底上采用光刻和微电铸工艺的方法来制作开关和光栅微结构。通过结构选型确定了微接电开关的整体结构,结合制作工艺和开关的结构特点对制作难点进行了深入研究,通过优化微开关的结构和改善电铸工艺等方法降低了铸层分层程度,引入超声波辅助显影的方式解决了高深宽比胶膜显影困难的问题,通过曝光对比实验得到了高深宽比胶膜合适的曝光参数。基于研究得到的结论和方法,开展了微接电开关的制作工艺研究。选用不锈钢板作为微开关的制作基底,通过在基底上进行叠层光刻、微电铸、溅射铜以及湿法腐蚀去胶等工艺制作了具有高深宽比结构的镍制微接电开关,对制作工艺所带来的误差进行理论分析并引入线宽误差补偿的方法来降低制作误差。开关的整体结构为4000×3900×360μm,最小结构尺寸为20μm,最大深宽比为14:1。使用无引线陶瓷片式封装载体对微开关进行了封装,使用高倍工具显微镜对微开关关键结构的宽度尺寸进行了测量,最后用旋转试验台和落锤测试平台对微开关的动态性能进行测试,结果表明所制作的微开关满足设计要求。结合制作工艺和微光栅的结构特点,开展了高深宽比铜微光栅的制作工艺研究。选用铜板作为制作基底,通过在基底上进行两次匀胶、前烘和一次曝光、超声显影、微电铸铜以及高温真空退火去胶等工艺制作出了微光栅结构,微光栅的周期宽度为130μm,凸台尺寸为2400×220×65μm。采用高倍工具显微镜和Zygo表面轮廓仪对光栅结构的尺寸和工作表面粗糙度进行了测量,结果显示其尺寸相对误差<2%,粗糙度<0.4μm。

关键词：微接电开关 SU-8胶内应力微光栅高深宽比

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基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究

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光学仪器 2017年第2期39卷 1-7页

作者：牛渊张敏王俊杰徐永祥南京理工大学理学院江苏南京210094

基于显微白光干涉术,利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图,并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合,台阶总高最大... 详细信息

基于显微白光干涉术,利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图,并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合,台阶总高最大相差0.8%。同时,用美国Veeco白光轮廓仪对同一样品的形貌及光栅周期进行了测试,数据显示两者结果非常吻合,仅台阶总高相差0.7%。研究结果表明,所采用的四种算法均适用于微观三维形貌的测量。

关键词：白光干涉干涉显微镜重心法空间频域算法移相算法包络曲线拟合法微光栅

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生物兼容蛋白水凝胶微图案的光刻平版印刷

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高等学校化学学报 2016年第4期37卷 715-722页

作者：郑博元纪锋颖侯智善孙思明孙允陆杨蕊竹吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室长春130012 青岛市疾病预防控制中心青岛266033 表面物理与化学重点实验室绵阳621907

通过简易的紫外光刻平版印刷技术,对无化学修饰的生物兼容性良好的天然牛白蛋白的水相光刻胶进行微图案化加工,获得了可用作微光栅器件的蛋白质微条纹结构,表征了蛋白质凝胶微条纹图案的宏观性状.结果表明,其折射散射彩虹色明显,单束激... 详细信息

通过简易的紫外光刻平版印刷技术,对无化学修饰的生物兼容性良好的天然牛白蛋白的水相光刻胶进行微图案化加工,获得了可用作微光栅器件的蛋白质微条纹结构,表征了蛋白质凝胶微条纹图案的宏观性状.结果表明,其折射散射彩虹色明显,单束激光经过后的衍射条纹对称度高,可获得11级衍射条纹.通过改变参数实现了条纹的可控褶皱.将图案化的蛋白水凝胶膜用于肝癌细胞的培养,实现了细胞图案化排布.

关键词：紫外光刻蛋白质水凝胶微光栅生物兼容性微褶皱

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厦门科技 2000年第5期 15-16页

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