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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 数学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 引燃脉冲个数
  • 1 篇 tin/crn多膜层
  • 1 篇 结合力
  • 1 篇 高功率脉冲磁控溅...
  • 1 篇 高引燃脉冲

机构

  • 1 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 1 篇 田修波
  • 1 篇 高凯晨
  • 1 篇 巩春志
  • 1 篇 徐啸尘

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=引燃脉冲个数"
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排序:
引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响
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中国表面工程 2022年 第5期35卷 145-154页
作者: 高凯晨 巩春志 徐啸尘 田修波 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨150001
多层TiN/CrN薄膜能显著改善复杂环境下部件的性能和寿命,为获得性能良好的TiN/CrN多膜层,提出一种高引燃脉冲新HiPIMS模式(高功率脉冲磁控溅射技术)的新放电技术,在一到四引燃脉冲个数条件下制备TiN/CrN多层薄膜。结果表明,随着引燃脉... 详细信息
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