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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 仿真分析
  • 1 篇 光学检测
  • 1 篇 平面绝对测量
  • 1 篇 多次平移法
  • 1 篇 高精度面形检测

机构

  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 中国工程物理研究...

作者

  • 1 篇 马骅
  • 1 篇 任寰
  • 1 篇 刘勇
  • 1 篇 刘旭
  • 1 篇 陈波

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=平面绝对测量"
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基于多次平移的平面绝对检测仿真
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强激光与粒子束 2014年 第5期26卷 47-51页
作者： 马骅 陈波 任寰 刘旭 刘勇 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川绵阳621900 中国工程物理研究院研究生院 北京100088
将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形。推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和... 详细信息
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