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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 移相式
  • 1 篇 数字平面干涉
  • 1 篇 平面波像差标准

机构

  • 1 篇 南京理工大学

作者

  • 1 篇 朱日宏
  • 1 篇 陈进榜
  • 1 篇 陈磊
  • 1 篇 宋德真
  • 1 篇 王青
  • 1 篇 陈道炯

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=平面波像差标准"
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高精度、大口径平面波像差标准──移相式数字平面干涉仪
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光学学报 1995年 第4期15卷 480-485页
作者： 陈进榜 宋德真 朱日宏 王青 陈磊 陈道炯 南京理工大学电光学院 安徽工学院
介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪，其孔径为Φ２４５ｍｍ，用液面作基准标定并消除仪器的系统误差，准确度优于λ／５０（峰谷值，λ＝０．６３２８μｍ）。利用计算机辅助干涉术，被测件口径可扩展到Φ５００ｍｍ。该仪器将用于... 详细信息
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