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机构

  • 1 篇 上海微电子装备有...

作者

  • 1 篇 吴飞
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  • 1 篇 魏巍
  • 1 篇 王茜
  • 1 篇 袁志扬

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光刻机多面体主基板的设计与算法
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中国机械工程 2013年 第9期24卷 1164-1168页
作者： 吴飞 王茜 袁志扬 魏巍 陈文枢 上海微电子装备有限公司 上海201203
论述了一种扫描式投影曝光光刻机主基板的设计制造过程,在该主基板上需要安装投影物镜和多个纳米级高精度测量分系统。为满足设计需求,规划了整机内部结构所需占用的最小三维空间,并基于计算几何的方法设计主基板和测量支架。首先进行... 详细信息
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