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文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 表面等离子体光刻
  • 1 篇 干涉空间位相成像
  • 1 篇 三点调平
  • 1 篇 间隙检测

机构

  • 1 篇 重庆大学

作者

  • 1 篇 李军辉

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=干涉空间位相成像"
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排序：
表面等离子体超分辨光刻间隙检测与调平技术研究
表面等离子体超分辨光刻间隙检测与调平技术研究
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引用
作者： 李军辉 重庆大学
学位级别：硕士
随着半导体产业的高速发展,智能传感、人工智能、通讯网络、电子商务等领域的核心器件都趋于小型化和微型化,对制造工艺技术提出了更高的要求。传统的光刻技术受衍射极限的制约,最高分辨力只能达到所用光源波长的一半。近来,表面等离子... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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