检索结果-南通市图书馆

光学精密工程 2022年第13期30卷 1523-1533页

作者：吕思达李明茁胡海翔薛栋林张学军中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100049

干涉补偿检测系统中检测波前在补偿光路传播中发生退化,不可避免地引入了干涉相干成像像差,使得仪器的传递函数在高频段急剧下降,严重限制了检测精度。建立了一种干涉相干成像像差模型来揭示波前空间频率信息受干涉相干成像像差影响的... 详细信息

干涉补偿检测系统中检测波前在补偿光路传播中发生退化,不可避免地引入了干涉相干成像像差,使得仪器的传递函数在高频段急剧下降,严重限制了检测精度。建立了一种干涉相干成像像差模型来揭示波前空间频率信息受干涉相干成像像差影响的退化机制,提出了非回转对称波前传播理论来阐述非回转对称波前的演化机理。然后,结合细光束追迹与波前演化的混合分析方法建立了干涉相干成像像差的数学模型,实现了次波前非回转对称传播条件下调频函数的数值化,进一步建立离焦量与波前分布的函数关系。最后,利用干涉补偿检测系统完成模型的实验验证。实验结果表明,实际值与预计值的残差结果均小于0.05 waves,模型的对称平均绝对百分比误差(SMAPE)为8.26%,平均相对误差(MRE)为3.35%,相比亚利桑那大学提出的基于Talbot效应与菲涅尔衍射分析得到的理论模型有更好的契合度。由此验证了该模型的准确性与预测性,该模型对于提高干涉补偿检测的检测精度有重要意义。

关键词：光学检测干涉补偿检测次波前退化干涉相干成像像差

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