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  • 1 篇 理学
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主题

  • 2 篇 带电粒子追踪
  • 1 篇 边缘场
  • 1 篇 蒙特卡洛模拟
  • 1 篇 串扰
  • 1 篇 扫描电子显微镜
  • 1 篇 微型阵列束闸
  • 1 篇 多束电子光学
  • 1 篇 低真空探测器

机构

  • 1 篇 中国科学院电工研...
  • 1 篇 中国科学技术大学
  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 国仪量子技术有限...

作者

  • 1 篇 陈禹滔
  • 1 篇 韩立
  • 1 篇 张雨露
  • 1 篇 张利新
  • 1 篇 刘俊标
  • 1 篇 卢志钢
  • 1 篇 王文博
  • 1 篇 阴达
  • 1 篇 秦熙
  • 1 篇 殷伯华
  • 1 篇 郑传懋
  • 1 篇 曹峰
  • 1 篇 徐龙泉

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检索条件"主题词=带电粒子追踪"
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基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析
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电子显微学报 2023年 第2期42卷 208-215页
作者： 陈禹滔 阴达 郑传懋 徐龙泉 卢志钢 曹峰 秦熙 国仪量子(合肥)技术有限公司 安徽合肥230031 中国科学技术大学近代物理系 安徽合肥230031
低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率... 详细信息
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微型阵列束闸电子束偏转特性研究
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电子显微学报 2023年 第2期42卷 171-179页
作者： 张雨露 张利新 刘俊标 王文博 殷伯华 韩立 中国科学院电工研究所 微纳加工技术与智能电气设备研究部北京100190 中国科学院大学 电子电气与通信工程学院北京100049
为了降低微型阵列式束闸边缘场和邻近电场对多束电子束的偏转影响和串扰,本文以3×3阵列束闸为研究对象,利用COMSOL Multiphysics中的静电和带电粒子追踪模块,研究束闸长宽比、隔离接地极和束闸上方增加接地层对电子束偏转的影响。研究... 详细信息
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