检索结果-南通市图书馆

基于分段拟合的机床大尺寸工作台热误差补偿模型

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

机械工程学报 2015年第3期51卷 146-152页

作者：张成新高峰李艳赵柏涵孟振华西安理工大学机械及精密仪器工程学院西安710048 曲阜师范大学印刷学院日照276826

大型机床工作台在往复运动过程中,丝杠螺母会产生大量的热,一部分热量从螺母传入工作台导致工作台两侧翘曲,使工作台不同位置产生不同热误差。为提高大尺寸机床工作台的纵向热误差补偿精度,提出分段拟合热误差建模预测方法。该方法是沿... 详细信息

大型机床工作台在往复运动过程中,丝杠螺母会产生大量的热,一部分热量从螺母传入工作台导致工作台两侧翘曲,使工作台不同位置产生不同热误差。为提高大尺寸机床工作台的纵向热误差补偿精度,提出分段拟合热误差建模预测方法。该方法是沿工作台横向在多个位置建立对应点的纵向热误差模型,然后由各点单模型预测值进行分段拟合建立工作台整体预测模型,利用分段拟合模型实现对工作台任意位置热误差预测。同时为了提高热误差模型预测精度和鲁棒性,采用粒子群优化算法根据实时反馈热误差数据对模型参数辨识,使热误差模型能适应机床最新的工作状态。在一台三坐标铣床工作台上进行试验,建立X轴快速运动时工作台纵向热误差模型,试验结果表明:该方法鲁棒性好预测精度高,能够实现大尺寸工作台任意位置的热误差补偿,且具有一定的通用性。

关键词：数控机床工作台热误差分段拟合实时辨识

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

光刻机工作台超精密运动与同步控制

机械工程学报 2011年第11期47卷 185-190页

作者：滕伟柳亦兵穆海华华北电力大学机电工程研究所北京102206 华中科技大学机械科学与工程学院武汉430074

以同步扫描的运动性能为目标,研究针对步进扫描投影光刻机工作台的超精密运动与同步控制策略。结合工作台的结构特点,提出一种粗、微复合运动控制方法,即:微动台纳米级微动,粗动台微米级跟随运动;以硅片台、掩模台的三阶轨迹规划与轨迹... 详细信息

以同步扫描的运动性能为目标,研究针对步进扫描投影光刻机工作台的超精密运动与同步控制策略。结合工作台的结构特点,提出一种粗、微复合运动控制方法,即:微动台纳米级微动,粗动台微米级跟随运动;以硅片台、掩模台的三阶轨迹规划与轨迹重叠为基础,进行扫描过程中的同步状态规划;为实现纳米级的同步运动精度,进行硅片台与掩模台的动态特性比较,在此基础上提出工作台交叉反馈的同步控制策略,使掩模台实时跟踪硅片台的运动趋势,并设计同步误差模型进行运动性能评估。该方法已在100 nm步进扫描投影光刻机中得到实际应用,并取得良好效果。

关键词：工作台运动控制同步状态同步控制

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

重型数控立车工作台静压计算

机械工程学报 2009年第9期45卷 120-125,135页

作者：赵明黄正东王书亭陈立平华中科技大学CAD中心武汉430074

采用预载恒流静压导轨的重型数控立车的工作台由于承载大,静压计算时必须考虑结构变形对油膜厚度的影响,因此该计算问题为静压-结构耦合问题,通常采用迭代方法求解。工作台主轴z向自由情况下,用有限元法求解工作台变形时,如何处理工作... 详细信息

采用预载恒流静压导轨的重型数控立车的工作台由于承载大,静压计算时必须考虑结构变形对油膜厚度的影响,因此该计算问题为静压-结构耦合问题,通常采用迭代方法求解。工作台主轴z向自由情况下,用有限元法求解工作台变形时,如何处理工作台主轴孔处的z向约束是静压求解的关键,目前有关文献对此问题的处理方法存在问题。为解决此问题,提出一种计算刚性位移的方法;即认为油腔的油膜厚度为工作台的刚性位移与工作台导轨在该油腔封油边处的z向平均变形的代数和,该刚性位移值可通过包含油腔静压力的z向受力平衡条件求出。对直接采用不动点迭代方法求解此耦合问题的发散特点进行分析,提出新的校正改进法,用于静压迭代计算,无论工作台主轴z向有无约束均可使用,还可考虑包括切削力在内的外载。采用新方法进行3个工况的静压求解迭代计算,均稳定收敛到指定的精度,验证了新方法的有效性和稳定性。

关键词：数控立车工作台预载恒流静压导轨有限元法静压计算

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

光刻机工作台运动控制中的若干关键问题

机械工程学报 2014年第8期50卷 165-173页

作者：滕伟穆海华周云飞华北电力大学能源动力与机械工程学院北京102206 清华大学精密仪器与机械学系北京100084 华中科技大学机械科学与工程学院武汉430074

100 nm步进扫描投影光刻机是我国攻关研究的主流机型,工作台是实现其超精密性能的核心子系统。光刻机工作台采用粗、微复合的运动结构,其同步最大运动平均误差(<5 nm)和同步最大运动标准偏差(<12 nm)等性能指标对运动控制系统提出严苛... 详细信息

100 nm步进扫描投影光刻机是我国攻关研究的主流机型,工作台是实现其超精密性能的核心子系统。光刻机工作台采用粗、微复合的运动结构,其同步最大运动平均误差(台与掩模台的结构特点,提出了运动控制系统中保证精度实现的组成单元,分别论述轨迹规划、测量系统、控制策略单元等的工作机理与实现特点;为进一步提高运动控制精度,分析工作台可能受到的扰动因素,提出相应的补偿控制策略,探讨运动控制中各环节的参数校准策略。综合论述步进扫描投影型光刻机工作台运动控制中的关键问题,并提出相应的实现与解决方法,可为实际光刻设备超高精度的实现提供指导。

关键词：工作台运动控制关键问题精度实现

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

重型数控立车工作台静压计算与优化

中国机械工程 2008年第22期19卷 2742-2747页

作者：赵明黄正东陈立平华中科技大学武汉430074

提出新的计算重型数控立车工作台刚性位移的方法和用于静压迭代求解的校正改进法。通过两个工况下的静压计算验证了新方法的有效性和稳定性。在此基础上,以工作台质量极小化为目标,建立包括结构和静压两个强耦合学科约束的优化模型,采... 详细信息

提出新的计算重型数控立车工作台刚性位移的方法和用于静压迭代求解的校正改进法。通过两个工况下的静压计算验证了新方法的有效性和稳定性。在此基础上,以工作台质量极小化为目标,建立包括结构和静压两个强耦合学科约束的优化模型,采用并行子空间设计方法进行优化。优化后工作台质量明显减小,表明了并行子空间设计方法的有效性。

关键词：工作台预载恒流静压导轨静压计算并行子空间设计

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

立卧转换五轴加工中心后处理研究

技术与教育 2024年第1期38卷 14-21页

作者：张宗仁吉林工业职业技术学院

随着工业生产的发展,立卧转换五轴加工中心因其切削性能优秀、加工范围广、稳定性更强、生产效率更高、操作更简单等优点,已经在工厂实际加工中得到越来越多的应用。为了节约成本,许多生产企业在三轴加工中心的基础之上通过加装五轴工... 详细信息

随着工业生产的发展,立卧转换五轴加工中心因其切削性能优秀、加工范围广、稳定性更强、生产效率更高、操作更简单等优点,已经在工厂实际加工中得到越来越多的应用。为了节约成本,许多生产企业在三轴加工中心的基础之上通过加装五轴工作台等措施,将原有的三轴机床升级为五轴机床,而数控系统受制于原机床的配置问题,无法升级为真五轴机床系统,因此市场上存在许多假五轴机床系统。

关键词：五轴加工中心五轴机床切削性能数控系统三轴加工中心工业生产立卧转换工作台

一种用于光纤F-P传感器的微纳米级微位移工作台的研究

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

仪器仪表学报 2006年第6期27卷 653-656页

作者：雷小华刘国平陈星朱永陈伟民重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆市计量技术研究所重庆400044

标定光纤F-P传感器这种微纳米级位移传感器非常困难。分析常用的微位移技术优缺点,这里提出了一种基于弹性变形原理的工作台的设计方法。建立了工作台位移变形的数学模型,对其产生位移的误差进行了理论分析。在此基础上,实际设计并开发... 详细信息

标定光纤F-P传感器这种微纳米级位移传感器非常困难。分析常用的微位移技术优缺点,这里提出了一种基于弹性变形原理的工作台的设计方法。建立了工作台位移变形的数学模型,对其产生位移的误差进行了理论分析。在此基础上,实际设计并开发了实验系统,用德国he idenha iyn光栅位移传感器对光纤F-P传感器进行了标定实验。大量的标定实验证明,该微位移工作台的不确定度为0.1μm。

关键词：标定工作台微位移光纤F-P传感器

鹰咀石电站进水口回旋式清污机械平台优化改造

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

云南水力发电 2024年第4期40卷 180-183页

作者：蒋大粤韶关市利源工程建设有限公司广东韶关512000

鹰咀石电站运行期间由于污物聚集在拦污栅前造成过流减小,严重影响机组出力,严重时会压垮拦污栅,造成生产事故,威胁机组安全。人工清污费时费力,易引发落水事故,清污不及时还会影响经济效益,因此对进水口回旋式清污机平台进行了优化改... 详细信息

鹰咀石电站运行期间由于污物聚集在拦污栅前造成过流减小,严重影响机组出力,严重时会压垮拦污栅,造成生产事故,威胁机组安全。人工清污费时费力,易引发落水事故,清污不及时还会影响经济效益,因此对进水口回旋式清污机平台进行了优化改造。工作台桥紧邻厂房布置,通过复核计算,得到清污机工作台满足水库大坝的防洪安全要求;对清污机工作台进行稳定分析计算,清污机工作台不均匀系数及抗滑稳定安全系数均满足规范要求。

关键词：引水电站回旋式清污机优化改造工作台

大型龙门导轨磨床工作台运动精度控制方法研究

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

计算机测量与控制 2023年第12期31卷 110-116页

作者：孔丽国董田江包坚宁波海天精工股份有限公司浙江宁波315800

大型龙门导轨磨床工作台整机运动场、主轴漂移量、补偿误差均会对控制精度产生影响,因此研究新的大型龙门导轨磨床工作台运动精度控制方法;根据大型龙门导轨磨床基本结构连接形态,求解主要技术参数,实现龙门导轨磨床工作台设计;从静态... 详细信息

大型龙门导轨磨床工作台整机运动场、主轴漂移量、补偿误差均会对控制精度产生影响,因此研究新的大型龙门导轨磨床工作台运动精度控制方法;根据大型龙门导轨磨床基本结构连接形态,求解主要技术参数,实现龙门导轨磨床工作台设计;从静态、动态两个角度出发,分析立柱部件、横梁部件受力情况,确定多目标拓扑与模态有限元条件,以此分析磨床工作台的运动特性;以动静态参数求解结果和整机运动场为基础,计算主轴漂移量的取值范围,结合相关运动参数计算补偿误差数值,结合对补偿误差数值计算以及PDDF控制器结果对工作台运动精度进行控制;实验结果表明,所提方法可以将工作台运动路径拟合误差控制在0~0.07 mm范围之内,满足龙门导轨磨床工作台运动精准控制的要求,实际应用效果好。

关键词：龙门导轨磨床工作台运动精度多目标拓扑模态有限元运动场主轴漂移量补偿误差