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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 化学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 磨粒粒度
  • 1 篇 剪切增稠抛光
  • 1 篇 石英晶片
  • 1 篇 工件倾斜角度
  • 1 篇 抛光液转速
  • 1 篇 磨粒质量分数

机构

  • 1 篇 浙江工业大学
  • 1 篇 金华出入境检验检...

作者

  • 1 篇 胡刚翔
  • 1 篇 邵琦
  • 1 篇 翁海舟
  • 1 篇 吕冰海
  • 1 篇 戴伟涛

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=工件倾斜角度"
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石英晶片剪切增稠抛光优化实验
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纳米技术与精密工程 2017年 第3期15卷 227-233页
作者： 翁海舟 吕冰海 胡刚翔 邵琦 戴伟涛 浙江工业大学超精密加工研究中心 杭州310014 金华出入境检验检疫局 金华321015
剪切增稠抛光(STP)是利用非牛顿流体抛光液在抛光过程中产生的剪切增稠效应实现工件表面高效、低损伤的抛光.本文以材料去除率和表面粗糙度作为评价指标;采用田口法对石英晶片剪切增稠抛光过程中的4个关键影响参数:抛光液转速、工件倾... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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