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超大规模集成电路工业洁净室的设计

洁净与空调技术 1996年第3期 2-7页

作者：范存养林忠平

超大规模集成电路工业洁净室的设计是一门涉及集成电路制造工艺、空气调节、空气净化、建筑结构、给水排水、气体动力、电气工程等很多专业的综合性技术。当前我国的集成电路工业正在蓬勃发展。为了设计出符合集成电路工业生产要求的环... 详细信息

超大规模集成电路工业洁净室的设计是一门涉及集成电路制造工艺、空气调节、空气净化、建筑结构、给水排水、气体动力、电气工程等很多专业的综合性技术。当前我国的集成电路工业正在蓬勃发展。为了设计出符合集成电路工业生产要求的环境,这里就超大规模集成电路工业洁净室的设计浅谈几点自己的看法。一、集成度和环境设计参数对于4～64M的环境要求可参见表1。从空气洁净度来说,美国FS209D是以≥0.5μm粒子在1立方英尺中的个数来表示的。

关键词：洁净室集成电路工业洁净室设计

基于LoRa的大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测系统

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廊坊师范学院学报（自然科学版） 2021年第4期21卷 65-69页

作者：张震盖昊宇朱炼安徽工商职业学院安徽合肥231131

构建基于LoRa的大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测的无线传感器组网模型,采用LoRa技术实现对工业洁净室沉降菌动态监测的节点优化部署,结合随机路由探测和最短路径寻优方法,实现对工业洁净室沉降菌动态监测的节点动态控制和路由... 详细信息

构建基于LoRa的大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测的无线传感器组网模型,采用LoRa技术实现对工业洁净室沉降菌动态监测的节点优化部署,结合随机路由探测和最短路径寻优方法,实现对工业洁净室沉降菌动态监测的节点动态控制和路由协议设计。设计计数电路实现对动态监测数据的计数处理,通过滤波检测器实现工业洁净室沉降菌动态监测和滤波控制,提高监测的稳定性和准确性,在嵌入式的集成DSP信息处理器中实现对系统的硬件集成开发设计。仿真测试结果表明,设计的动态监测系统稳定性较好,准确度较高,动态监测能力较强。

关键词： LoRa技术大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测滤波控制

基于LoRa技术的工业洁净室环境全覆盖监控系统

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成都工业学院学报 2022年第2期25卷 20-23页

作者：盖昊宇张震姚庆锋胡贵恒安徽工商职业学院应用工程学院合肥231131

为了提高工业洁净室环境监控能力,提出基于Lo Ra技术的工业洁净室环境全覆盖监控系统设计,构建工业洁净室环境全覆盖监控的大数据分析模型,结合数据分析和特征挖掘技术分析工业洁净室环境全覆盖信息传输分量,实现对工业洁净室全覆盖监... 详细信息

为了提高工业洁净室环境监控能力,提出基于Lo Ra技术的工业洁净室环境全覆盖监控系统设计,构建工业洁净室环境全覆盖监控的大数据分析模型,结合数据分析和特征挖掘技术分析工业洁净室环境全覆盖信息传输分量,实现对工业洁净室全覆盖监控的数据提取与分析。结合相似度分析和融合度检测,进行环境全覆盖监控和输出均衡配置,采用Lo Ra技术实现工业洁净室环境全覆盖监控的嵌入式调度。通过均衡控制,实现工业洁净室环境全覆盖监控访问控制。设计仿真实验测试,结果表明:设计的工业洁净室环境全覆盖监控系统输出覆盖度较高,延迟率和误码率较低,具有可靠性。

关键词： Lo Ra技术工业洁净室环境全覆盖监控系统信息融合

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水平表面上超细气溶胶粒子的沉积

应用力学学报 2003年第4期20卷 14-18页

作者：亢燕铭荣美丽钟珂王明星东华大学上海200051 中国科学院大气物理研究所北京100029

采用二维模型 ,讨论了气流水平流动时 ,超细气溶胶粒子受重力、热泳和扩散效应的作用在工业洁净室中水平工作台表面上的沉积情况。分析了沿流动方向的局部沉积速度与粒径和工作台边缘距离之间的关系。

关键词：气溶胶粒子热泳水平流动沉积速度扩散效应工业洁净室对流扩散方程

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医院洁净手术部现存问题解析

洁净与空调技术 2011年第1期 16-22页

作者：徐凤奎赵阿萌北京大学第三医院北京北方天宇建筑装饰有限责任公司

我国医院洁净手术部的建造市场还存在管理欠缺、监管不力的问题,市场上设计队伍和设计人员水平不一,施工队伍和施工人员良莠不齐,因此一些建成的洁净手术室还存在质量和性能参数满足不了规范的要求。为了建好医院的洁净手术部必须在管... 详细信息

我国医院洁净手术部的建造市场还存在管理欠缺、监管不力的问题,市场上设计队伍和设计人员水平不一,施工队伍和施工人员良莠不齐,因此一些建成的洁净手术室还存在质量和性能参数满足不了规范的要求。为了建好医院的洁净手术部必须在管理和监管方面加强力度。另外,目前手术室的空调净化耗电偏高,应建设既能满足手术室的性能参数要求又节能的经济型手术室。

关键词：洁净手术部污染控制送风天花冷桥工业洁净室生物洁净室

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谈谈医药厂房洁净室设计

科技资讯 2007年第9期5卷 149-150页

作者：王颖机械工业第五设计研究院天津300190

从GMP要求出发,根据医药厂房工程设计的实践,指出了工业洁净室在工程设计中不能忽视的洁净度等问题及解决方法。提出了生物洁净室设计的负压控制参数、换气次数和换气排放要求。

关键词： GMP 工业洁净室生物洁净室洁净度

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用于电子制造的机器人

国外科技新书评介 2011年第1期 20-21页

作者： K．Mathia（）

许多电子制造业如硬盘、平板显示器、太阳能产业、纳米技术、微机电系统（MEMS）和制药工业要求在无尘环境中进行生产，本书论述在电子制造中工业洁净室的机器人的设计及应用，书中介绍了工业洁净室机器人的原理和应用，特别是在半导体... 详细信息

许多电子制造业如硬盘、平板显示器、太阳能产业、纳米技术、微机电系统（MEMS）和制药工业要求在无尘环境中进行生产，本书论述在电子制造中工业洁净室的机器人的设计及应用，书中介绍了工业洁净室机器人的原理和应用，特别是在半导体制造中最苛求的清洁度要求，根据清洁度的要求，洁净室的机器人可分为两类：在环境大气压力下高质量清洁度的“大气机器人”和在各种真空压力下外壳中极端清洁的“真空机器人”。

关键词：电子制造业机器人工业洁净室真空压力大气压力平板显示器太阳能产业微机电系统

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浅谈医药厂房洁净室设计

工程设计与应用研究 2008年第1期 4-6页

作者：王颖

从GMP要求出发。根据医药厂房工程设计的实践，指出了工业洁净室在工程设计中不能忽视的洁净度等问题及解决方法。提出了生物洁净室设计的负压控制参数、换气次数和换气排放要求。

关键词： GMP 工业洁净室生物洁净室洁净度

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对净化手术室空气含菌量的调查

中华医院感染学杂志 1993年第3期3卷 162-162页

作者：范红艳解放军总医院外科手术室

洁净手术室是近年来在工业洁净室的基础上发展起来的,它是通过高效过滤器对空气进行过滤,从而使室内空气中的微粒数量受到严格控制,而达到洁净空气,减少手术感染的机会。我院洁净手术室有三个,根据装置不同分为:水平层流洁净室,垂直层... 详细信息

洁净手术室是近年来在工业洁净室的基础上发展起来的,它是通过高效过滤器对空气进行过滤,从而使室内空气中的微粒数量受到严格控制,而达到洁净空气,减少手术感染的机会。我院洁净手术室有三个,根据装置不同分为:水平层流洁净室,垂直层流洁净室和紊流洁净室。比较三个不同类型的洁净手术室的空气净化效果,我们采用JWL-1型大气微生物采样器(流量251/min),琼脂培养基(采样时间为1min)。

关键词：洁净手术室层流洁净室空气净化含菌量洁净空气大气微生物高效过滤器工业洁净室琼脂培养基层流间