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143 条 记 录,以下是81-90 订阅
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微电子加工用大面积射频等离子体
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等离子体应用技术快报 1996年 第4期 11-12页
作者: 楚山
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四川大学用射频等离子体技术制备乙炔选择加氢催化剂
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石油化工 2004年 第3期33卷 292-292页
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大气压射频Ar/H2等离子体射流特性及其应用于铜膜制备的研究
大气压射频Ar/H2等离子体射流特性及其应用于铜膜制备的研究
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第十八届全国等离子体科学技术会议
作者: 郭起家 倪国华 郭起家 中国科学院等离子体物理研究所 中国科学技术大学
沉积铜膜于聚酰亚胺基材上是制备柔性印刷电路板的一个重要步骤。我们采用一种大气压下射频驱动的氩气/氢气放电装置成功实现了在聚酰亚胺基底上沉积高质量铜膜。该放电装置由缠绕着石英管外壁的射频线圈和放置于石英内的铜线组成,铜线... 详细信息
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射频等离子体制备球形TC4钛合金粉
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钛工业进展 2013年 第6期30卷 44-44页
作者: 王运锋
射频等离子体具有温度高(约104℃)、等离子体炬体积大、能量密度高、传热和冷却速度快等优点,是制备组分均匀、球形度高、缺陷少和流动性好的球形粉末的良好途径。等离子熔融球化技术被认为是获得致密规则球形粉末的最有效手段之一。
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金属—等离子体耦合改性Ni基重整催化剂的合成及构效关系
金属—等离子体耦合改性Ni基重整催化剂的合成及构效关系
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作者: 田欢 重庆理工大学
学位级别:硕士
近五年来,我国碳排量位居全球第一,为响应我国在2060年实现碳中和的政策,在降低CO排放量的同时也要促进已排放的CO的回收利用。其中甲烷干重整能有效促进CO的利用同时生成的合成气还能用于合成其他工业原料。但该反应是强吸热反应,且该... 详细信息
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等离子体技术对CO_2甲烷化用Ni/SiO_2催化剂的改性作用
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燃料化学学报 2013年 第1期41卷 96-101页
作者: 张旭 孙文晶 储伟 四川大学化工学院 四川成都610065
采用浸渍法制备了Ni/SiO2催化剂,应用等离子体技术对催化剂进行改性处理。以CO2甲烷化为模型反应对催化剂进行活性评价,通过H2程序升温还原(H2-TPR)和CO2程序升温脱附(CO2-TPD)技术对催化剂进行表征。研究了等离子体技术强化处理对催化... 详细信息
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等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜
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真空科学与技术学报 2018年 第4期38卷 306-312页
作者: 樊启鹏 胡玉莲 桑利军 王卉 刘忠伟 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室等离子体物理与材料研究室 北京102600
集成电路的高速发展为铜互连提出诸多要求,其中,如何低温条件(≤150℃)下在大深宽比的通孔或沟槽中沉积保形性好、纯度高、导电性好的铜籽晶层是亟需解决的问题。本文利用等离子体增强原子层沉积技术,以脒基铜为铜前驱体,以氢等离子体... 详细信息
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等离子体表面改性协同静电喷雾在车饰毛织物疏水整理中的应用
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纺织学报 2016年 第8期37卷 89-93页
作者: 周惠敏 谢婷婷 李智勇 夏鑫 新疆大学纺织与服装学院 新疆乌鲁木齐830046
为寻求更为环保的方式对羊毛/羊绒车饰品进行疏水整理,利用射频低温等离子体协同静电喷雾技术对织物进行疏水整理。通过扫描电镜观察了织物原样、等离子体处理织物、静电喷雾疏水织物和等离子体处理后静电喷雾疏水织物4种样品的表面形... 详细信息
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等离子体活性水对不结球白菜出苗和幼苗生长发育的影响
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长江蔬菜 2022年 第14期 14-16页
作者: 邹宏宇 侯喜林 南京农业大学园艺学院 210095 作物遗传与种质创新国家重点实验室/农业农村部华东地区园艺作物生物学与种质创新重点实验室/园艺作物种质创新与利用教育部工程研究中心 南京苏曼等离子工程研究院 210095
低温等离子体在实际作用时可分为直接作用和间接作用。直接作用即使低温等离子体直接在被处理物质的表面安全无害地发挥作用。由于等离子体的低温特性,即使作用于对热比较敏感的物质也不会造成损害[1]。间接作用即以水作为媒介,将等离... 详细信息
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等离子体条件下煤基富勒烯的制备及生成机理
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煤炭转化 2006年 第4期29卷 1-4页
作者: 蔺娴 刘旭光 符冬菊 李天保 杨永珍 许并社 太原理工大学教育部新材料界面与工程重点实验室 太原理工大学材料科学与工程学院 太原博士生030024
以淄博贫煤为原料,用射频等离子体法合成碳纳米管(carbon nanotubes,CNTs)和纳米洋葱状富勒烯(nano-structured onion-like fullerenes,NSOFs),运用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对产物进行了表征和分析.... 详细信息
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